شرح محصول

مزیت تجهیزات

۱. بهینه‌سازی پوشش‌دهی سوراخ‌های عمیق

فناوری انحصاری پوشش‌دهی حفره‌های عمیق: فناوری پوشش‌دهی حفره‌های عمیق توسعه‌یافته توسط شرکت Zhenhua Vacuum می‌تواند حتی برای روزنه‌های بسیار کوچک به کوچکی 30 میکرومتر، به نسبت ابعاد برتر 10:1 دست یابد و بر چالش‌های پوشش‌دهی ساختارهای حفره‌های عمیق پیچیده غلبه کند.

2. قابل تنظیم، پشتیبانی از اندازه‌های مختلف

از زیرلایه‌های شیشه‌ای با اندازه‌های مختلف، از جمله ۶۰۰×۶۰۰ میلی‌متر / ۵۱۰×۵۱۵ میلی‌متر یا بزرگتر، پشتیبانی می‌کند.

۳. انعطاف‌پذیری فرآیند، سازگار با مواد مختلف

این تجهیزات با مواد لایه نازک رسانا یا کاربردی مانند Cu، Ti، W، Ni و Pt سازگار است و نیازهای کاربردهای مختلف برای رسانایی و مقاومت در برابر خوردگی را برآورده می‌کند.

۴. عملکرد پایدار تجهیزات، نگهداری آسان

این دستگاه مجهز به یک سیستم کنترل هوشمند است که امکان تنظیم خودکار پارامترها و نظارت بر یکنواختی ضخامت فیلم را در لحظه فراهم می‌کند؛ این دستگاه از طراحی مدولار برای نگهداری آسان و کاهش زمان از کارافتادگی بهره می‌برد.

کاربرد:می‌تواند برای بسته‌بندی پیشرفته TGV/TSV/TMV مورد استفاده قرار گیرد، که قادر به دستیابی به پوشش لایه بذر با سوراخ عمیق با نسبت ابعاد ≥10:1 است.