فناوری رسوبگذاری به کمک پرتو یونی، فناوری پوششدهی با تزریق پرتو یونی و رسوب بخار است که با فناوری پردازش کامپوزیت سطح یونی ترکیب شده است. در فرآیند اصلاح سطح مواد تزریقشده با یون، چه مواد نیمههادی و چه مواد مهندسی، اغلب مطلوب است که ضخامت لایه اصلاحشده بسیار بیشتر از کاشت یون باشد، اما همچنین مزایای فرآیند تزریق یون، مانند لایه اصلاحشده و زیرلایه بین سطح مشترک تیز، که میتواند در دمای اتاق قطعه کار پردازش شود و غیره، حفظ شود. بنابراین، با ترکیب کاشت یون با فناوری پوشش، یونها با انرژی مشخصی به طور مداوم در حین پوششدهی به سطح مشترک بین فیلم و زیرلایه تزریق میشوند و اتمهای سطح مشترک با کمک برخوردهای آبشاری مخلوط میشوند و یک ناحیه انتقال اختلاط اتم در نزدیکی سطح مشترک اولیه تشکیل میدهند تا نیروی پیوند بین فیلم و زیرلایه را بهبود بخشند. سپس، در ناحیه اختلاط اتم، فیلم با ضخامت و خواص مورد نیاز با مشارکت پرتو یونی به رشد خود ادامه میدهد.
این روش، رسوبگذاری با کمک پرتو یونی (IBED) نامیده میشود که ویژگیهای فرآیند کاشت یون را حفظ میکند و در عین حال به زیرلایه اجازه میدهد تا با یک ماده لایه نازک که کاملاً متفاوت از زیرلایه است، پوشش داده شود.
رسوبدهی به کمک پرتو یونی مزایای زیر را دارد.
(1) از آنجایی که رسوبدهی به کمک پرتو یونی، پلاسما را بدون تخلیه گاز تولید میکند، پوششدهی را میتوان در فشار کمتر از 10-2 پاسکال انجام داد که باعث کاهش آلودگی گاز میشود.
(2) پارامترهای اساسی فرآیند (انرژی یون، چگالی یون) الکتریکی هستند. به طور کلی نیازی به کنترل جریان گاز و سایر پارامترهای غیر الکتریکی نیست، میتوانید به راحتی رشد لایه فیلم را کنترل کنید، ترکیب و ساختار فیلم را تنظیم کنید و به راحتی از تکرارپذیری فرآیند اطمینان حاصل کنید.
(3) سطح قطعه کار را میتوان با فیلمی کاملاً متفاوت از زیرلایه پوشش داد و ضخامت آن توسط انرژی یونهای بمباران در دمای پایین (<200℃) محدود نمیشود. این روش برای عملیات سطحی فیلمهای کاربردی آلاییده شده، قالبهای دقیق ماشینکاری شده به روش سرد و فولاد سازهای تمپر شده در دمای پایین مناسب است.
(4) این یک فرآیند غیر تعادلی است که در دمای اتاق کنترل میشود. لایههای عاملی جدید مانند فازهای دمای بالا، فازهای نیمه پایدار، آلیاژهای آمورف و غیره را میتوان در دمای اتاق به دست آورد.
معایب رسوبدهی به کمک پرتو یونی عبارتند از:
(1) از آنجا که پرتو یونی دارای ویژگیهای تابش مستقیم است، کار با شکل پیچیده سطح قطعه کار دشوار است.
(2) به دلیل محدودیت اندازه جریان پرتو یونی، کار با قطعات کار در مقیاس بزرگ و با مساحت زیاد دشوار است.
(3) نرخ رسوبدهی به کمک پرتو یونی معمولاً حدود 1 نانومتر بر ثانیه است که برای تهیه لایههای نازک فیلم مناسب است و برای آبکاری مقادیر زیاد محصولات مناسب نیست.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۱۶ نوامبر ۲۰۲۳