Ekipamenduaren abantaila
1. Zulo sakonen estalduraren optimizazioa
Zulo Sakonen Estaldura Teknologia Esklusiboa: Zhenhua Vacuum-ek berak garatutako zulo sakonen estaldura teknologiak 10:1eko alderdi-erlazio bikaina lor dezake 30 mikrometroko irekidura txikietan ere, zulo sakonen egitura konplexuen estaldura-erronkak gaindituz.
2. Pertsonalizagarria, tamaina desberdinak onartzen ditu
Hainbat tamainatako beirazko substratuak onartzen ditu, 600 × 600 mm / 510 × 515 mm edo handiagoak direnak barne.
3. Prozesuaren malgutasuna, hainbat materialekin bateragarria
Ekipamendua Cu, Ti, W, Ni eta Pt bezalako eroale edo funtzional diren film meheko materialekin bateragarria da, eroankortasun eta korrosioarekiko erresistentziarako aplikazio-behar desberdinak asetuz.
4. Ekipamenduen errendimendu egonkorra, mantentze erraza
Ekipamendua kontrol sistema adimendun batekin hornituta dago, parametroen doikuntza automatikoa eta filmaren lodieraren uniformetasunaren denbora errealeko monitorizazioa ahalbidetzen duena; mantentze-lan errazak egiteko diseinu modularra hartzen du, geldialdi-denborak murriztuz.
Aplikazioa:TGV/TSV/TMV ontziratze aurreratuetarako erabil daiteke, ≥10:1 alderdi-erlazioarekin zulo sakoneko hazi-geruza estaltzeko gai dena.