Plasma zuzeneko polimerizazio prozesua
Plasma polimerizazio prozesua nahiko erraza da bai barne elektrodoen polimerizazio ekipoetarako, bai kanpoko elektrodoen polimerizazio ekipoetarako, baina parametroen hautaketa garrantzitsuagoa da plasma polimerizazioan, parametroek eragin handiagoa baitute polimero filmen egituran eta errendimenduan plasma polimerizazioan zehar.
Plasma bidezko polimerizazio zuzenaren urratsak hauek dira:
(1) Xurgagailua pasatzea
Hutsean dagoen polimerizazioaren atzeko plano-hutsuneak 1,3×10-1Pa-ra ponpatu behar dira. Oxigeno edo nitrogeno edukia kontrolatzeko baldintza bereziak behar dituzten polimerizazio-erreakzioetarako, atzeko plano-hutsunearen beharra are handiagoa da.
(2) Karga-erreakzio monomeroa edo garraiatzaile-gasaren eta monomeroaren gas nahasia
Hutsune-maila 13-130Pa da. Lana behar duen plasma polimerizaziorako, fluxu-kontrol modu eta emari-tasa egokiak hautatu behar dira, oro har 10.100mL/min. Plasman, monomero molekulak ionizatu eta disoziatzen dira partikula energetikoen bonbardaketaren bidez, eta horren ondorioz ioiak eta gene aktiboak bezalako partikula aktiboak sortzen dira. Plasmak aktibatutako partikula aktiboek plasma polimerizazioa jasan dezakete fase gaseosoaren eta fase solidoaren arteko interfazean. Monomeroa da plasma polimerizaziorako aitzindari-iturria, eta sarrerako erreakzio-gasak eta monomeroak purutasun jakin bat izan behar dute.
(3) Kitzikapen-energia-iturriaren hautaketa
Plasma korronte zuzeneko, maiztasun handiko, irrati-maiztasuneko edo mikrouhin-iturriak erabiliz sor daiteke polimerizaziorako plasma-ingurune bat emateko. Energia-iturriaren hautaketa polimeroaren egituraren eta errendimenduaren eskakizunen arabera zehazten da.
(4) Deskargatzeko moduaren hautaketa
Polimeroen eskakizunetarako, plasma polimerizazioak bi deskarga modu aukera ditzake: deskarga jarraitua edo pultsu deskarga.
(5) Isurketa-parametroen hautaketa
Plasma polimerizazioa egiterakoan, deskarga-parametroak kontuan hartu behar dira plasma-parametroetatik, polimeroaren propietateetatik eta egitura-eskakizunetatik abiatuta. Polimerizazioan aplikatutako potentziaren magnitudea huts-ganberaren bolumenak, elektrodoaren tamainak, monomeroaren fluxu-tasak eta egiturak, polimerizazio-tasak eta polimeroaren egiturak eta errendimenduak zehazten dute. Adibidez, erreakzio-ganberaren bolumena 1L bada eta RF plasma polimerizazioa erabiltzen bada, deskarga-potentzia 10~30W-ko tartean egongo da. Baldintza horietan, sortutako plasmak pilatu egin daiteke piezaren gainazalean film mehe bat osatzeko. Plasma polimerizazio-filmaren hazkunde-tasa energia-iturriaren, monomero motaren eta fluxu-tasaren eta prozesu-baldintzen arabera aldatzen da. Oro har, hazkunde-tasa 100nm/min~1um/min da.
(6) Plasma polimerizazioan parametroen neurketa
Plasma polimerizazioan neurtu beharreko plasma parametroak eta prozesu parametroak hauek dira: deskarga tentsioa, deskarga korrontea, deskarga maiztasuna, elektroi tenperatura, dentsitatea, erreakzio talde mota eta kontzentrazioa, etab.
——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k argitaratu du,estaldura optikoko makinen fabrikatzailea.
Argitaratze data: 2023ko maiatzaren 5a