TOOTE KIRJELDUS

Varustuse eelis

1. Sügava augu katmise optimeerimine

Eksklusiivne sügavate aukude katmise tehnoloogia: Zhenhua Vacuumi enda väljatöötatud sügavate aukude katmise tehnoloogia võimaldab saavutada suurepärase kuvasuhte 10:1 isegi kuni 30 mikromeetri suuruste avade puhul, ületades keerukate sügavate aukude struktuuride katmisega seotud väljakutsed.

2. Kohandatav, toetab erinevaid suurusi

Toetab erineva suurusega klaaspindu, sh 600 × 600 mm / 510 × 515 mm või suuremaid spetsifikatsioone.

3. Protsessi paindlikkus, ühildub mitme materjaliga

Seade ühildub juhtivate või funktsionaalsete õhukeste kilematerjalidega nagu Cu, Ti, W, Ni ja Pt, rahuldades erinevate rakenduste juhtivuse ja korrosioonikindluse vajadusi.

4. Stabiilne seadmete jõudlus, lihtne hooldus

Seade on varustatud intelligentse juhtimissüsteemiga, mis võimaldab parameetrite automaatset reguleerimist ja kile paksuse ühtluse reaalajas jälgimist; see on modulaarse disainiga, mis hõlbustab hooldust ja vähendab seisakuid.

Rakendus:Saab kasutada TGV/TSV/TMV täiustatud pakendite jaoks, mis on võimelised saavutama sügava auguga seemnekihi katmise kuvasuhtega ≥10:1.