ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

Πλεονέκτημα εξοπλισμού

1. Βελτιστοποίηση επίστρωσης βαθιών οπών

Αποκλειστική τεχνολογία επίστρωσης βαθιών οπών: Η αυτοαναπτυγμένη τεχνολογία επίστρωσης βαθιών οπών της Zhenhua Vacuum μπορεί να επιτύχει ανώτερη αναλογία διαστάσεων 10:1 ακόμη και για μικροσκοπικά ανοίγματα έως και 30 μικρόμετρα, ξεπερνώντας τις προκλήσεις επίστρωσης πολύπλοκων δομών βαθιών οπών.

2. Προσαρμόσιμο, υποστηρίζει διαφορετικά μεγέθη

Υποστηρίζει γυάλινα υποστρώματα διαφόρων μεγεθών, συμπεριλαμβανομένων προδιαγραφών 600×600mm / 510×515mm ή μεγαλύτερες.

3. Ευελιξία διαδικασίας, συμβατή με πολλαπλά υλικά

Ο εξοπλισμός είναι συμβατός με αγώγιμα ή λειτουργικά υλικά λεπτής μεμβράνης όπως Cu, Ti, W, Ni και Pt, καλύπτοντας διαφορετικές ανάγκες εφαρμογών για αγωγιμότητα και αντοχή στη διάβρωση.

4. Σταθερή απόδοση εξοπλισμού, εύκολη συντήρηση

Ο εξοπλισμός είναι εξοπλισμένος με ένα έξυπνο σύστημα ελέγχου που επιτρέπει την αυτόματη ρύθμιση παραμέτρων και την παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο της ομοιομορφίας του πάχους της μεμβράνης. Υιοθετεί αρθρωτό σχεδιασμό για εύκολη συντήρηση, μειώνοντας τον χρόνο διακοπής λειτουργίας.

Εφαρμογή:Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για προηγμένες συσκευασίες TGV/TSV/TMV, ικανές να επιτύχουν επίστρωση στρώματος σπόρων σε βαθιές οπές με αναλογία διαστάσεων ≥10:1.