PRODUKTBESKRIVELSE

Udstyrsfordel

1. Optimering af dybhulsbelægning

Eksklusiv teknologi til belægning af dybe huller: Zhenhua Vacuums egenudviklede teknologi til belægning af dybe huller kan opnå et overlegent aspektforhold på 10:1, selv for små åbninger så små som 30 mikrometer, og dermed overvinde belægningsudfordringerne ved komplekse dybe hulstrukturer.

2. Kan tilpasses, understøtter forskellige størrelser

Understøtter glassubstrater i forskellige størrelser, herunder 600×600 mm / 510×515 mm eller større specifikationer.

3. Procesfleksibilitet, kompatibel med flere materialer

Udstyret er kompatibelt med ledende eller funktionelle tyndfilmsmaterialer såsom Cu, Ti, W, Ni og Pt, og opfylder dermed forskellige applikationsbehov for ledningsevne og korrosionsbestandighed.

4. Stabil udstyrsydelse, nem vedligeholdelse

Udstyret er udstyret med et intelligent styresystem, der muliggør automatisk parameterjustering og realtidsovervågning af filmtykkelsens ensartethed; det anvender et modulært design for nem vedligeholdelse, hvilket reducerer nedetid.

Anvendelse:Kan bruges til avanceret TGV/TSV/TMV-emballage og er i stand til at opnå dybhulsbelægning af frølag med et aspektforhold ≥10:1.