Mae technoleg dyddodiad â chymorth trawst ïon yn dechnoleg cotio chwistrellu trawst ïon a dyddodiad anwedd ynghyd â thechnoleg prosesu cyfansawdd arwyneb ïon. Yn y broses o addasu arwyneb deunyddiau chwistrellu ïon, boed yn ddeunyddiau lled-ddargludyddion neu'n ddeunyddiau peirianneg, yn aml mae'n ddymunol bod trwch yr haen wedi'i haddasu yn llawer mwy na thrwch mewnblannu ïon, ond mae hefyd eisiau cadw manteision y broses chwistrellu ïon, megis y rhyngwyneb miniog rhwng yr haen wedi'i haddasu a'r swbstrad, gellir ei brosesu ar dymheredd ystafell ar y darn gwaith, ac ati. Felly, trwy gyfuno mewnblannu ïon â thechnoleg cotio, mae ïonau ag egni penodol yn cael eu chwistrellu'n barhaus i'r rhyngwyneb rhwng y ffilm a'r swbstrad wrth orchuddio, ac mae'r atomau rhyngwynebol yn cael eu cymysgu gyda chymorth gwrthdrawiadau rhaeadru, gan ffurfio parth pontio cymysgu atomau ger y rhyngwyneb cychwynnol i wella'r grym bondio rhwng y ffilm a'r swbstrad. Yna, ar y parth cymysgu atomau, mae'r ffilm gyda'r trwch a'r priodweddau gofynnol yn parhau i dyfu gyda chyfranogiad y trawst ïon.
Gelwir hyn yn Dyddodiad â Chymorth Trawst Ionau (IBED), sy'n cadw nodweddion y broses mewnblannu ïonau wrth ganiatáu i'r swbstrad gael ei orchuddio â deunydd ffilm denau sy'n gwbl wahanol i'r swbstrad.
Mae gan ddyddodiad â chymorth trawst ïon y manteision canlynol.
(1) Gan fod dyddodiad â chymorth trawst ïonau yn cynhyrchu plasma heb ollwng nwy, gellir cynnal cotio ar bwysedd o <10-2 Pa, gan leihau halogiad nwy.
(2) Mae paramedrau sylfaenol y broses (ynni ïon, dwysedd ïon) yn drydanol. Yn gyffredinol, nid oes angen rheoli llif y nwy a pharamedrau eraill nad ydynt yn drydanol, gallwch reoli twf yr haen ffilm yn hawdd, addasu cyfansoddiad a strwythur y ffilm, gan sicrhau bod y broses yn ailadroddadwy yn hawdd.
(3) Gellir gorchuddio wyneb y darn gwaith â ffilm sy'n gwbl wahanol i'r swbstrad ac nid yw'r trwch yn gyfyngedig gan egni'r ïonau bomio ar dymheredd isel (<200℃). Mae'n addas ar gyfer trin wyneb ffilmiau swyddogaethol wedi'u dopio, mowldiau manwl gywir wedi'u peiriannu'n oer a dur strwythurol wedi'i dymheru tymheredd isel.
(4) Mae'n broses anghytbwys sy'n cael ei rheoli ar dymheredd ystafell. Gellir cael ffilmiau swyddogaethol newydd megis cyfnodau tymheredd uchel, cyfnodau is-sefydlog, aloion amorffaidd, ac ati ar dymheredd ystafell.
Anfanteision dyddodiad â chymorth trawst ïon yw.
(1) Gan fod gan y trawst ïon nodweddion ymbelydredd uniongyrchol, mae'n anodd delio â siâp arwyneb cymhleth y darn gwaith
(2) Mae'n anodd delio â darnau gwaith ar raddfa fawr ac arwynebedd mawr oherwydd cyfyngiad maint y ffrwd trawst ïon.
(3) Mae'r gyfradd dyddodiad â chymorth trawst ïon fel arfer tua 1nm/s, sy'n addas ar gyfer paratoi haenau ffilm denau, ac nid yw'n addas ar gyfer platio meintiau mawr o gynhyrchion.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Tach-16-2023