POPIS PRODUKTU

Výhoda vybavení

1. Optimalizace povlakování hlubokých otvorů

Exkluzivní technologie povlakování hlubokých otvorů: Technologie povlakování hlubokých otvorů, kterou si společnost Zhenhua Vacuum sama vyvinula, dokáže dosáhnout vynikajícího poměru stran 10:1 i u malých otvorů o velikosti pouhých 30 mikrometrů, čímž překonává výzvy spojené s povlakováním složitých struktur hlubokých otvorů.

2. Přizpůsobitelné, podporuje různé velikosti

Podporuje skleněné substráty různých velikostí, včetně specifikací 600×600 mm / 510×515 mm nebo větších.

3. Flexibilita procesu, kompatibilní s více materiály

Zařízení je kompatibilní s vodivými nebo funkčními tenkovrstvými materiály, jako jsou Cu, Ti, W, Ni a Pt, a splňuje tak požadavky různých aplikací na vodivost a odolnost proti korozi.

4. Stabilní výkon zařízení, snadná údržba

Zařízení je vybaveno inteligentním řídicím systémem, který umožňuje automatické nastavení parametrů a sledování rovnoměrnosti tloušťky filmu v reálném čase; využívá modulární konstrukci pro snadnou údržbu a zkrácení prostojů.

Aplikace:Lze použít pro pokročilé balení TGV/TSV/TMV, které je schopné dosáhnout hlubokého povlaku semenné vrstvy s poměrem stran ≥10:1.