Prucessu di polimerizazione diretta à plasma

Prucessu di polimerizazione diretta à plasma

U prucessu di polimerizazione à plasma hè relativamente simplice sia per l'equipaggiu di polimerizazione à elettrodi interni sia per l'equipaggiu di polimerizazione à elettrodi esterni, ma a selezzione di i parametri hè più impurtante in a polimerizazione à plasma, perchè i parametri anu un impattu più grande nantu à a struttura è e prestazioni di i filmi polimerici durante a polimerizazione à plasma.

I passi operativi per a polimerizazione diretta à plasma sò i seguenti:

(1) Aspiratore

U vacuum di fondu di a polimerizazione in cundizioni di vacuum deve esse pompatu à 1,3 × 10-1Pa. Per e reazzioni di polimerizazione chì necessitanu esigenze speciali per cuntrullà u cuntenutu di ossigenu o azotu, l'esigenza di vacuum di fondu hè ancu più alta.

(2) Monomeru di reazione di carica o gasu mistu di gasu vettore è monomeru

U gradu di vacuum hè 13-130Pa. Per a polimerizazione à plasma chì richiede travagliu, devenu esse scelti una modalità di cuntrollu di flussu è una velocità di flussu apprupriate, generalmente 10.100mL/min. In u plasma, e molecule di monomeri sò ionizate è dissociate da u bombardamentu di particelle energetiche, risultendu in particelle attive cum'è ioni è geni attivi. E particelle attive attivate da u plasma ponu subisce a polimerizazione à plasma à l'interfaccia di a fase gassosa è a fase solida. U monomeru hè a fonte di precursore per a polimerizazione à plasma, è u gasu di reazione d'entrata è u monomeru devenu avè una certa purezza.

(3) Selezzione di l'alimentazione di eccitazione

U plasma pò esse generatu aduprendu fonti d'alimentazione CC, alta frequenza, RF, o microonde per furnisce un ambiente plasmaticu per a polimerizazione. A selezzione di l'alimentazione hè determinata in basa à i requisiti per a struttura è e prestazioni di u polimeru.

(4) Selezzione di u modu di scarica

Per i requisiti di i polimeri, a polimerizazione à plasma pò sceglie dui modi di scarica: scarica cuntinua o scarica à impulsi.

(5) Selezzione di i parametri di scarica

Quandu si cunduce a polimerizazione à plasma, i parametri di scarica devenu esse cunsiderati da i parametri di plasma, e proprietà di i polimeri è i requisiti di struttura. A magnitudine di a putenza applicata durante a polimerizazione hè determinata da u vulume di a camera à vuoto, a dimensione di l'elettrodu, a velocità di flussu di u monomeru è a struttura, a velocità di polimerizazione, è a struttura è e prestazioni di u polimeru. Per esempiu, se u vulume di a camera di reazione hè 1L è si aduttà a polimerizazione à plasma RF, a putenza di scarica serà in l'intervallu di 10 ~ 30W. In tali cundizioni, u plasma generatu pò aggregà si per furmà una pellicola fina nantu à a superficia di u pezzu. A velocità di crescita di a pellicola di polimerizazione à plasma varia secondu l'alimentazione, u tipu di monomeru è a velocità di flussu, è e cundizioni di u prucessu. In generale, a velocità di crescita hè 100nm / min ~ 1um / min.

(6) Misurazione di i parametri in a polimerizazione à plasma

I parametri di plasma è i parametri di prucessu da misurà in a polimerizazione à plasma includenu: tensione di scarica, corrente di scarica, frequenza di scarica, temperatura elettronica, densità, tipu è cuncentrazione di u gruppu di reazione, ecc.

—— Questu articulu hè statu publicatu da Guangdong Zhenhua Technology, unafabbricante di macchine di rivestimentu otticu.