OPIS PROIZVODA

Prednost opreme

1. Optimizacija premaza dubokih rupa

Ekskluzivna tehnologija premazivanja dubokih rupa: Zhenhua Vacuum je samostalno razvila tehnologiju premazivanja dubokih rupa koja može postići superiorni omjer stranica od 10:1 čak i za sitne otvore veličine samo 30 mikrometara, prevazilazeći izazove premazivanja složenih struktura dubokih rupa.

2. Prilagodljivo, podržava različite veličine

Podržava staklene podloge različitih veličina, uključujući specifikacije 600×600 mm / 510×515 mm ili veće.

3. Fleksibilnost procesa, kompatibilnost s više materijala

Oprema je kompatibilna s provodljivim ili funkcionalnim tankoslojnim materijalima kao što su Cu, Ti, W, Ni i Pt, zadovoljavajući različite potrebe primjene za provodljivošću i otpornošću na koroziju.

4. Stabilne performanse opreme, jednostavno održavanje

Oprema je opremljena inteligentnim kontrolnim sistemom koji omogućava automatsko podešavanje parametara i praćenje ujednačenosti debljine filma u realnom vremenu; usvaja modularni dizajn za jednostavno održavanje, smanjujući vrijeme zastoja.

Primjena:Može se koristiti za napredno pakovanje TGV/TSV/TMV, sposobno za postizanje premaza slojem dubokog rupa sa odnosom stranica ≥10:1.