Tehnologija nanošenja pomoću jonskog snopa je tehnologija nanošenja premaza injektiranjem jonskog snopa i nanošenjem pare u kombinaciji s tehnologijom obrade kompozita ionske površine. U procesu modifikacije površine materijala injektiranim ionima, bilo da se radi o poluprovodničkim materijalima ili inženjerskim materijalima, često se želi da debljina modificiranog sloja bude mnogo veća od debljine ionske implantacije, ali se također žele zadržati prednosti procesa injektiranja iona, kao što je mogućnost obrade obratka na sobnoj temperaturi između modificiranog sloja i supstrata, i tako dalje. Stoga, kombinovanjem ionske implantacije s tehnologijom nanošenja premaza, ioni određene energije se kontinuirano ubrizgavaju u međupovršinu između filma i supstrata tokom nanošenja premaza, a atomi na međupovršini se miješaju uz pomoć kaskadnih sudara, formirajući prelaznu zonu miješanja atoma u blizini početne međupovršine kako bi se poboljšala sila vezivanja između filma i supstrata. Zatim, u zoni miješanja atoma, film sa potrebnom debljinom i svojstvima nastavlja rasti uz učešće ionskog snopa.
Ovo se naziva taloženje potpomognuto ionskim snopom (IBED), koje zadržava karakteristike procesa implantacije iona, a istovremeno omogućava da se supstrat prekrije tankim filmom materijala koji je potpuno drugačiji od supstrata.
Taloženje uz pomoć jonskog snopa ima sljedeće prednosti.
(1) Budući da taloženje uz pomoć jonskog snopa generira plazmu bez pražnjenja plina, nanošenje premaza može se izvesti pod pritiskom <10-2 Pa, smanjujući kontaminaciju plinom.
(2) Osnovni parametri procesa (energija iona, gustina iona) su električni. Općenito nije potrebno kontrolirati protok plina i druge neelektrične parametre, lako se može kontrolirati rast sloja filma, podesiti sastav i struktura filma, te se lako osigurava ponovljivost procesa.
(3) Površina obratka može biti prekrivena filmom koji je potpuno drugačiji od podloge, a debljina nije ograničena energijom bombardirajućih iona na niskim temperaturama (<200℃). Pogodan je za površinsku obradu dopiranih funkcionalnih filmova, hladno obrađenih preciznih kalupa i konstrukcijskog čelika kaljenog na niskim temperaturama.
(4) To je neravnotežni proces kontroliran na sobnoj temperaturi. Novi funkcionalni filmovi kao što su visokotemperaturne faze, substabilne faze, amorfne legure itd. mogu se dobiti na sobnoj temperaturi.
Nedostaci taloženja potpomognutog jonskim snopom su.
(1) Budući da ionski snop ima karakteristike direktnog zračenja, teško je raditi sa složenim oblikom površine obratka.
(2) Teško je raditi s velikim radnim komadima i obradcima velike površine zbog ograničenja veličine toka ionskog snopa.
(3) Brzina taloženja uz pomoć jonskog snopa obično je oko 1 nm/s, što je pogodno za pripremu tankih slojeva filma, a nije pogodno za prevlačenje velikih količina proizvoda.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 16. novembar 2023.