প্লাজমা সরাসরি পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়া
অভ্যন্তরীণ ইলেক্ট্রোড পলিমারাইজেশন সরঞ্জাম এবং বহিরাগত ইলেক্ট্রোড পলিমারাইজেশন সরঞ্জাম উভয়ের জন্যই প্লাজমা পলিমারাইজেশন প্রক্রিয়া তুলনামূলকভাবে সহজ, তবে প্লাজমা পলিমারাইজেশনে প্যারামিটার নির্বাচন আরও গুরুত্বপূর্ণ, কারণ প্লাজমা পলিমারাইজেশনের সময় পলিমার ফিল্মের গঠন এবং কর্মক্ষমতার উপর প্যারামিটারগুলির প্রভাব বেশি থাকে।
সরাসরি প্লাজমা পলিমারাইজেশনের জন্য অপারেশন ধাপগুলি নিম্নরূপ:
(১) ভ্যাকুয়ামিং
ভ্যাকুয়াম অবস্থায় পলিমারাইজেশনের ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়ামকে 1.3×10-1Pa তে পাম্প করা উচিত। অক্সিজেন বা নাইট্রোজেনের পরিমাণ নিয়ন্ত্রণের জন্য বিশেষ প্রয়োজনীয়তার প্রয়োজন এমন পলিমারাইজেশন বিক্রিয়ার জন্য, ব্যাকগ্রাউন্ড ভ্যাকুয়ামের প্রয়োজনীয়তা আরও বেশি।
(২) চার্জ বিক্রিয়া মনোমার বা বাহক গ্যাস এবং মনোমারের মিশ্র গ্যাস
ভ্যাকুয়াম ডিগ্রী হল 13-130Pa। প্লাজমা পলিমারাইজেশনের জন্য উপযুক্ত প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ মোড এবং প্রবাহ হার নির্বাচন করা হবে, সাধারণত 10.100 মিলি/মিনিট। প্লাজমাতে, মনোমার অণুগুলিকে শক্তিমান কণার বোমাবর্ষণের মাধ্যমে আয়নিত এবং বিচ্ছিন্ন করা হয়, যার ফলে আয়ন এবং সক্রিয় জিনের মতো সক্রিয় কণা তৈরি হয়। প্লাজমা দ্বারা সক্রিয় সক্রিয় কণাগুলি গ্যাস ফেজ এবং কঠিন ফেজের ইন্টারফেসে প্লাজমা পলিমারাইজেশনের মধ্য দিয়ে যেতে পারে। মনোমার হল প্লাজমা পলিমারাইজেশনের পূর্বসূরীর উৎস, এবং ইনপুট বিক্রিয়া গ্যাস এবং মনোমারের নির্দিষ্ট বিশুদ্ধতা থাকতে হবে।
(3) উত্তেজনা বিদ্যুৎ সরবরাহ নির্বাচন
পলিমারাইজেশনের জন্য প্লাজমা পরিবেশ প্রদানের জন্য ডিসি, উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি, আরএফ, অথবা মাইক্রোওয়েভ পাওয়ার উৎস ব্যবহার করে প্লাজমা তৈরি করা যেতে পারে। পলিমারের গঠন এবং কর্মক্ষমতার প্রয়োজনীয়তার উপর ভিত্তি করে পাওয়ার সাপ্লাই নির্বাচন নির্ধারিত হয়।
(৪) স্রাব মোড নির্বাচন
পলিমারের প্রয়োজনীয়তার জন্য, প্লাজমা পলিমারাইজেশন দুটি স্রাব মোড বেছে নিতে পারে: ক্রমাগত স্রাব বা পালস স্রাব।
(৫) স্রাব পরামিতি নির্বাচন
প্লাজমা পলিমারাইজেশন পরিচালনা করার সময়, প্লাজমা প্যারামিটার, পলিমার বৈশিষ্ট্য এবং কাঠামোর প্রয়োজনীয়তা থেকে স্রাব পরামিতি বিবেচনা করা প্রয়োজন। পলিমারাইজেশনের সময় প্রয়োগকৃত শক্তির পরিমাণ ভ্যাকুয়াম চেম্বারের আয়তন, ইলেক্ট্রোড আকার, মনোমার প্রবাহ হার এবং কাঠামো, পলিমারাইজেশন হার এবং পলিমার গঠন এবং কর্মক্ষমতা দ্বারা নির্ধারিত হয়। উদাহরণস্বরূপ, যদি বিক্রিয়া চেম্বারের আয়তন 1L হয় এবং RF প্লাজমা পলিমারাইজেশন গ্রহণ করা হয়, তাহলে স্রাব শক্তি 10~30W এর মধ্যে থাকবে। এই ধরনের পরিস্থিতিতে, উৎপন্ন প্লাজমা ওয়ার্কপিসের পৃষ্ঠে একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে একত্রিত হতে পারে। প্লাজমা পলিমারাইজেশন ফিল্মের বৃদ্ধির হার বিদ্যুৎ সরবরাহ, মনোমারের ধরণ এবং প্রবাহ হার এবং প্রক্রিয়া অবস্থার উপর নির্ভর করে পরিবর্তিত হয়। সাধারণত, বৃদ্ধির হার 100nm/min~1um/min হয়।
(6) প্লাজমা পলিমারাইজেশনে প্যারামিটার পরিমাপ
প্লাজমা পলিমারাইজেশনে পরিমাপ করা প্লাজমা প্যারামিটার এবং প্রক্রিয়া প্যারামিটারগুলির মধ্যে রয়েছে: ডিসচার্জ ভোল্টেজ, ডিসচার্জ কারেন্ট, ডিসচার্জ ফ্রিকোয়েন্সি, ইলেকট্রনের তাপমাত্রা, ঘনত্ব, বিক্রিয়া গ্রুপের ধরণ এবং ঘনত্ব ইত্যাদি।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, একটিঅপটিক্যাল লেপ মেশিনের প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: মে-০৫-২০২৩