Працэс прамой плазменнай палімерызацыі
Працэс плазменнай палімерызацыі адносна просты як для абсталявання для ўнутранай, так і для знешняй палімерызацыі, але выбар параметраў больш важны ў плазменнай палімерызацыі, паколькі параметры аказваюць большы ўплыў на структуру і характарыстыкі палімерных плёнак падчас плазменнай палімерызацыі.
Этапы аперацыі прамой плазменнай палімерызацыі наступныя:
(1) Пыласос
Фонавы вакуум палімерызацыі ў вакуумных умовах павінен быць павялічаны да 1,3×10⁻¹ Па. Для рэакцый палімерызацыі, якія патрабуюць спецыяльных патрабаванняў да кантролю ўтрымання кіслароду або азоту, патрабаванні да фонавага вакууму яшчэ вышэйшыя.
(2) Рэакцыя зарадкі манамера або змешанага газу-носьбіта і манамера
Ступень вакууму складае 13-130 Па. Для плазменнай палімерызацыі, якая патрабуе працы, неабходна выбраць адпаведны рэжым кіравання патокам і хуткасць патоку, звычайна 10-100 мл/мін. У плазме малекулы манамераў іянізуюцца і дысацыююцца бамбардзіроўкай энергічнымі часціцамі, у выніку чаго ўтвараюцца актыўныя часціцы, такія як іоны і актыўныя гены. Актыўныя часціцы, актываваныя плазмай, могуць падвяргацца плазменнай палімерызацыі на мяжы газавай і цвёрдай фаз. Манамер з'яўляецца крыніцай папярэдніка для плазменнай палімерызацыі, і ўваходны рэакцыйны газ і манамер павінны мець пэўную чысціню.
(3) Выбар крыніцы харчавання ўзбуджэння
Плазму можна генераваць з дапамогай крыніц пастаяннага току, высокай частаты, радыёчастот або мікрахвалевай энергіі для стварэння плазменнага асяроддзя для палімерызацыі. Выбар крыніцы харчавання вызначаецца ў залежнасці ад патрабаванняў да структуры і характарыстык палімера.
(4) Выбар рэжыму разраду
Для палімераў плазменная палімерызацыя можа выбраць два рэжымы разраду: бесперапынны разрад або імпульсны разрад.
(5) Выбар параметраў разраду
Пры правядзенні плазменнай палімерызацыі неабходна ўлічваць параметры разраду, зыходзячы з параметраў плазмы, уласцівасцей палімера і патрабаванняў да структуры. Велічыня прыкладзенай магутнасці падчас палімерызацыі вызначаецца аб'ёмам вакуумнай камеры, памерам электрода, хуткасцю патоку і структурай мономера, хуткасцю палімерызацыі, а таксама структурай і характарыстыкамі палімера. Напрыклад, калі аб'ём рэакцыйнай камеры складае 1 л і выкарыстоўваецца радыёчастотная плазменная палімерызацыя, магутнасць разраду будзе ў дыяпазоне 10~30 Вт. У такіх умовах генераваная плазма можа агрэгавацца, утвараючы тонкую плёнку на паверхні апрацоўванай дэталі. Хуткасць росту плазменнай палімерызацыйнай плёнкі залежыць ад крыніцы харчавання, тыпу мономера і хуткасці патоку, а таксама ад умоў працэсу. Як правіла, хуткасць росту складае 100 нм/мін~1 мкм/мін.
(6) Вымярэнне параметраў пры плазменнай палімерызацыі
Параметры плазмы і параметры працэсу, якія неабходна вымяраць пры плазменнай палімерызацыі, уключаюць: напружанне разраду, ток разраду, частату разраду, тэмпературу электронаў, шчыльнасць, тып і канцэнтрацыю рэакцыйнай групы і г.д.
——Гэты артыкул быў апублікаваны кампаніяй Guangdong Zhenhua Technology,вытворца машын для аптычнага пакрыцця.
Час публікацыі: 05.05.2023