Avadanlıq üstünlüyü
1. Dərin çuxur örtüklərinin optimallaşdırılması
Eksklüziv Dərin Delik Kaplama Texnologiyası: Zhenhua Vacuum-un özünü inkişaf etdirdiyi dərin deşik örtük texnologiyası mürəkkəb dərin deşik strukturlarının örtük problemlərini dəf edərək, hətta 30 mikrometrə qədər kiçik aperturalar üçün də 10:1 üstün aspekt nisbətinə nail ola bilər.
2. Özelleştirilebilir, Müxtəlif Ölçüləri Dəstəkləyir
600×600mm / 510×515mm və ya daha böyük spesifikasiyalar daxil olmaqla müxtəlif ölçülü şüşə altlıqları dəstəkləyir.
3. Proses Çevikliyi, Çoxlu Materiallara Uyğundur
Avadanlıq Cu, Ti, W, Ni və Pt kimi keçirici və ya funksional nazik film materialları ilə uyğun gəlir, keçiricilik və korroziyaya davamlılıq üçün müxtəlif tətbiq ehtiyaclarına cavab verir.
4. Sabit Avadanlıq Performansı, Asan Baxım
Avadanlıq parametrlərin avtomatik tənzimlənməsinə və plyonka qalınlığının vahidliyinə real vaxt rejimində nəzarət etməyə imkan verən intellektual idarəetmə sistemi ilə təchiz edilmişdir; o, asan təmir üçün modul dizaynı qəbul edir, dayanma müddətini azaldır.
Ərizə:TGV/TSV/TMV qabaqcıl qablaşdırma üçün istifadə oluna bilər, aspekt nisbəti ≥10:1 olan dərin çuxur toxum təbəqəsi örtüyünə nail ola bilər.