تعتمد معدات تنظيف البلازما الفراغية على هيكل متكامل، ومجهزة بنظام تنظيف أيوني RF، وتحكم أوتوماتيكي بالكامل، وسهولة التشغيل والصيانة.
يمكن لمولد التردد العالي RF توليد بلازما عالية الكثافة، وتنشيط وحفر وترميد سطح قطعة العمل، وإزالة الغبار والشحوم بشكل فعال من سطح المنتج، وتخفيف الضغط السطحي، والحصول على تعديلات مختلفة على سطح قطعة العمل.
يمكن تطبيقه على المطاط والزجاج والسيراميك والمعادن وغيرها من المنتجات، ويتم تطبيقه على الإلكترونيات الدقيقة، وشاشات LCD، وشاشات LED، وLCM، ولوحة الدوائر المطبوعة، والتغليف أشباه الموصلات، والأجهزة الطبية، وتجارب العلوم الحيوية وغيرها من المجالات.