ميزة المعدات
1. تحسين طلاء الحفرة العميقة
تكنولوجيا طلاء الثقوب العميقة الحصرية: يمكن لتكنولوجيا طلاء الثقوب العميقة التي طورتها شركة Zhenhua Vacuum تحقيق نسبة عرض إلى ارتفاع متفوقة تبلغ 10:1 حتى بالنسبة للفتحات الصغيرة التي يصل حجمها إلى 30 ميكرومترًا، مما يتغلب على تحديات طلاء هياكل الثقوب العميقة المعقدة.
2. قابلة للتخصيص، وتدعم أحجامًا مختلفة
يدعم ركائز الزجاج بأحجام مختلفة، بما في ذلك مواصفات 600×600 مم / 510×515 مم أو أكبر.
3. مرونة العملية، متوافقة مع مواد متعددة
تتوافق المعدات مع المواد الرقيقة الموصلة أو الوظيفية مثل Cu وTi وW وNi وPt، وتلبي احتياجات التطبيقات المختلفة للتوصيل ومقاومة التآكل.
4. أداء مستقر للمعدات، وسهولة الصيانة
تم تجهيز المعدات بنظام تحكم ذكي يتيح تعديل المعلمات تلقائيًا ومراقبة توحيد سماكة الفيلم في الوقت الفعلي؛ كما أنها تعتمد على تصميم معياري لسهولة الصيانة، مما يقلل من وقت التوقف.
طلب:يمكن استخدامه في التغليف المتقدم لـ TGV/TSV/TMV، وقادر على تحقيق طلاء طبقة البذور ذات الثقوب العميقة بنسبة عرض إلى ارتفاع ≥10:1.