Toerustingvoordeel
1. Optimalisering van diepgatbedekking
Eksklusiewe diepgatbedekkingstegnologie: Zhenhua Vacuum se selfontwikkelde diepgatbedekkingstegnologie kan 'n superieure aspekverhouding van 10:1 bereik, selfs vir klein openinge so klein as 30 mikrometer, wat die bedekkingsuitdagings van komplekse diepgatstrukture oorkom.
2. Aanpasbaar, ondersteun verskillende groottes
Ondersteun glassubstrate van verskillende groottes, insluitend 600 × 600 mm / 510 × 515 mm of groter spesifikasies.
3. Prosesbuigsaamheid, versoenbaar met verskeie materiale
Die toerusting is versoenbaar met geleidende of funksionele dunfilmmateriale soos Cu, Ti, W, Ni en Pt, wat voldoen aan verskillende toepassingsbehoeftes vir geleidingsvermoë en korrosieweerstand.
4. Stabiele toerustingprestasie, maklike onderhoud
Die toerusting is toegerus met 'n intelligente beheerstelsel wat outomatiese parameteraanpassing en intydse monitering van filmdikte-eenvormigheid moontlik maak; dit aanvaar 'n modulêre ontwerp vir maklike onderhoud, wat stilstandtyd verminder.
Toepassing:Kan gebruik word vir gevorderde TGV/TSV/TMV-verpakking, wat diepgat-saadlaagbedekking met 'n aspekverhouding ≥10:1 kan bereik.