Kẹmika Vapor Deposition (CVD). Gẹgẹbi orukọ naa ṣe tumọ si, o jẹ ilana ti o nlo awọn ifasilẹ iṣaju gaseous lati ṣe agbekalẹ awọn fiimu ti o lagbara nipasẹ awọn aati atomiki ati awọn aati kemikali intermolecular. Ko dabi PVD, ilana CVD ni a ṣe pupọ julọ ni agbegbe titẹ ti o ga julọ (igbale kekere), pẹlu titẹ ti o ga julọ ni akọkọ lati mu iwọn gbigbe silẹ ti fiimu naa. A le ṣe tito lẹtọ kẹmika si CVD gbogbogbo (eyiti a tun mọ ni CVD thermal) ati pilasima-imudara ikemi alumọni (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) ni ibamu si boya pilasima ni ipa ninu ilana isọdi. Abala yii dojukọ imọ-ẹrọ PECVD pẹlu ilana PECVD ati ohun elo PECVD ti o wọpọ ati ipilẹ iṣẹ.
Pilasima-ilọsiwaju ifasilẹ ikemi ti o ni ilọsiwaju jẹ ilana isọdi-fiimu kẹmika tinrin ti o nlo pilasima itujade didan lati ṣe ipa lori ilana fifisilẹ lakoko ti ilana isọdi ti kemikali kekere ti n waye. Ni ori yii, imọ-ẹrọ CVD aṣa da lori awọn iwọn otutu sobusitireti ti o ga julọ lati mọ iṣesi kemikali laarin awọn nkan alakoso gaasi ati ifisilẹ ti awọn fiimu tinrin, ati nitorinaa o le pe ni imọ-ẹrọ CVD gbona.
Ninu ẹrọ PECVD, titẹ gaasi ṣiṣẹ jẹ nipa 5 ~ 500 Pa, ati iwuwo ti awọn elekitironi ati awọn ions le de ọdọ 109 ~ 1012 / cm3, lakoko ti agbara apapọ ti awọn elekitironi le de ọdọ 1 ~ 10 eV. Ohun ti o ṣe iyatọ ọna PECVD lati awọn ọna CVD miiran ni pe pilasima ni nọmba nla ti awọn elekitironi agbara-giga, eyi ti o le pese agbara imuṣiṣẹ ti o nilo fun ilana isọdi eefin kemikali. Ijamba ti awọn elekitironi ati awọn ohun alumọni-gaasi le ṣe igbelaruge jijẹ, chemosynthesis, simi ati awọn ilana ionization ti awọn ohun elo gaasi, ti o ṣẹda awọn ẹgbẹ kemikali ti o ni ifaseyin pupọ, nitorinaa dinku iwọn otutu iwọn otutu ti CVD tinrin fiimu ifisilẹ, jẹ ki o ṣee ṣe lati mọ ilana CVD, eyiti o nilo akọkọ lati gbe jade ni awọn iwọn otutu giga, ni awọn iwọn otutu kekere. Anfani ti ifasilẹ fiimu tinrin iwọn otutu kekere ni pe o le yago fun itankale ti ko wulo ati ifa kemikali laarin fiimu ati sobusitireti, awọn ayipada igbekale ati ibajẹ fiimu tabi ohun elo sobusitireti, ati awọn aapọn igbona nla ninu fiimu ati sobusitireti.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 18-2024