Awọn ipo akọkọ meji lo wa ti ifisilẹ iranlọwọ tan ina ion, ọkan jẹ arabara ti o ni agbara; awọn miiran jẹ aimi arabara. Awọn tele ntokasi si fiimu ni idagbasoke ilana ti wa ni nigbagbogbo de pelu kan awọn agbara ati tan ina lọwọlọwọ bombardment ati fiimu; igbehin ti wa ni kọkọ-idogo lori dada ti sobusitireti kan Layer ti kere ju kan diẹ nanometers sisanra ti fiimu Layer, ati ki o ìmúdàgba dẹlẹ bombardment, ati ki o le ti wa ni tun ọpọlọpọ igba ati awọn idagbasoke ti awọn fiimu Layer.
Awọn agbara ion beam ti a yan fun ion beam iranlọwọ ifisilẹ ti awọn fiimu tinrin wa ni iwọn 30 eV si 100 keV. Iwọn agbara ti a yan da lori iru ohun elo ti fiimu naa ti wa ni iṣelọpọ. Fun apẹẹrẹ, igbaradi ti idaabobo ipata, yiya-aiṣedeede, awọn aṣọ ọṣọ ati awọn fiimu tinrin miiran yẹ ki o yan agbara bombardment ti o ga julọ. Awọn idanwo fihan pe, gẹgẹbi yiyan ti 20 si 40keV agbara ti ion beam bombardment, ohun elo sobusitireti ati fiimu funrararẹ kii yoo ni ipa lori iṣẹ ati lilo ibajẹ naa. Ni igbaradi ti awọn fiimu tinrin fun awọn ohun elo opitika ati awọn ẹrọ itanna, o yẹ ki o yan ifitonileti iranlọwọ ion kekere agbara, eyiti kii ṣe dinku adsorption ina nikan ati yago fun dida awọn abawọn ti mu ṣiṣẹ ni itanna, ṣugbọn tun dẹrọ dida ti eto ipo iduro ti awo ilu. Awọn ijinlẹ ti fihan pe awọn fiimu pẹlu awọn ohun-ini to dara julọ le ṣee gba nipa yiyan awọn agbara ion ni isalẹ ju 500 eV.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-11-2024