Nigbati ifisilẹ ti awọn ọta membran bẹrẹ, ion bombardment ni awọn ipa wọnyi lori wiwo awo ilu / sobusitireti.
(1) Àkópọ̀ ti ara. Nitori abẹrẹ ion agbara-giga, sputtering ti awọn ọta ti a fi silẹ ati abẹrẹ iṣipopada ti awọn ọta dada ati lasan ijamba kasikedi, yoo fa agbegbe isunmọ-oke ti awo ilu / wiwo ipilẹ ti awọn eroja sobusitireti ati awọn eroja awo ti idapọmọra ti kii ṣe tan kaakiri, ipa idapọmọra yii yoo jẹ itunnu si dida ti awopọ awọ-ara / ipilẹ Layer ti iṣipopada Layer ti iṣipopada. awo ilu / mimọ ni wiwo, to kan diẹ microns nipọn. Awọn milimita diẹ nipọn, ninu eyiti awọn ipele tuntun le paapaa han. Eyi jẹ ọjo pupọ lati mu agbara ifaramọ ti awo ilu / wiwo mimọ.
(2) Itankale ilọsiwaju. Idojukọ abawọn ti o ga julọ ni agbegbe ti o wa nitosi ati iwọn otutu ti o ga julọ mu iwọn itankale pọ si. Niwọn bi dada jẹ abawọn aaye, awọn ions kekere ni itara lati yi oju dada pada, ati bombardment ion ni ipa ti imudara ilọsiwaju ti dada ati imudara itọka ararẹ ti awọn ohun idogo ati awọn ọta sobusitireti.
(3) Imudara ipo iparun. Awọn ohun-ini ti atomu ti di lori dada sobusitireti jẹ ipinnu nipasẹ ibaraenisepo oju-ilẹ rẹ ati awọn ohun-ini ijira lori dada. Ti ko ba si ibaraenisepo to lagbara laarin atomu dipọ ati dada ti sobusitireti, atomu yoo tan kaakiri lori dada titi yoo fi di iparun ni ipo agbara-giga tabi ti o kọlu pẹlu awọn ọta ti ntan kaakiri. Ipo iparun yii ni a pe ni iparun ti kii ṣe ifaseyin. Paapaa ti atilẹba ba jẹ ti ọran ti ipo iparun ti kii ṣe ifaseyin, nipasẹ ion bombardment ti dada sobusitireti le gbe awọn abawọn diẹ sii, jijẹ iwuwo iparun, eyiti o jẹ itara diẹ sii si dida ti tan kaakiri - ipo nucleation ifaseyin.
(4) Yiyọ ayanfẹ ti awọn ọta ti a so mọ. Awọn sputtering ti dada awọn ọta ti wa ni ṣiṣe nipasẹ awọn agbegbe imora ipinle, ati ion bombardment ti awọn dada jẹ diẹ seese lati sputter jade loosely iwe adehun awọn ọta. Yi ipa jẹ diẹ oyè ni awọn Ibiyi ti tan kaakiri-ifesi atọkun.
(5) Imudara ti agbegbe ti o dada ati imudara ti iṣipopada fifin. Nitori awọn ga ṣiṣẹ gaasi titẹ ti ion plating, evaporated tabi sputtered awọn ọta ti wa ni tunmọ si ijamba pẹlu gaasi awọn ọta lati jẹki tituka, Abajade ni ti o dara ti a bo ewé-ni ayika-ini.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-09-2023