Mora imuposi fun depositing lile ti a bo

1. Gbona CVD ọna ẹrọ

Awọn ideri lile jẹ okeene awọn ohun elo seramiki irin (TiN, ati bẹbẹ lọ), eyiti a ṣẹda nipasẹ iṣesi ti irin ninu ibora ati gasification ifaseyin. Ni akọkọ, imọ-ẹrọ CVD gbona ni a lo lati pese agbara imuṣiṣẹ ti iṣesi Apapo nipasẹ agbara gbona ni iwọn otutu giga ti 1000 ℃. Iwọn otutu yii dara nikan fun fifipamọ TiN ati awọn ideri lile miiran lori awọn irinṣẹ carbide simenti. Titi di isisiyi, o tun jẹ imọ-ẹrọ pataki fun fifipamọ TiN - awọn ohun elo idapọpọ Al2O3 lori awọn ori irinṣẹ carbide ti simenti.

1. Ṣofo ion ti a bo ati ki o gbona waya aaki dẹlẹ bo

Ni awọn ọdun 1980, ibora ion cathode ṣofo ati ideri ion arc ion ti o gbona ni a lo lati fi awọn irinṣẹ gige ti a bo silẹ. Mejeji ti awọn imọ-ẹrọ ti a bo ion wọnyi jẹ awọn imọ-ẹrọ ifasilẹ ion arc, pẹlu iwọn ionization irin ti o to 20% ~ 40%.

1. Cathode arc ion bo

Ifarahan ti cathodic arc ion cating ti yori si idagbasoke ti imọ-ẹrọ ti fifipamọ awọn aṣọ wiwu lile lori awọn apẹrẹ. Awọn ionization oṣuwọn ti cathodic arc ion ti a bo ni 60% ~ 90%, gbigba kan ti o tobi nọmba ti irin ions ati lenu gaasi ions lati de ọdọ awọn dada ti awọn workpiece ati ki o tun ṣetọju ga aṣayan iṣẹ-ṣiṣe, Abajade ni lenu iwadi oro ati Ibiyi ti lile aso bi TiN. Ni lọwọlọwọ, imọ-ẹrọ ti a bo cathodic arc ion jẹ lilo ni akọkọ lati fi awọn aṣọ wiwu lile sori awọn mimu.

Orisun arc cathode jẹ orisun evaporation ti ipinlẹ ti o lagbara laisi adagun didà ti o wa titi, ati pe ipo orisun arc le wa ni gbe lainidii, imudarasi iwọn lilo aaye ti yara ti a bo ati jijẹ agbara ikojọpọ ileru. Awọn apẹrẹ ti awọn orisun arc cathode pẹlu awọn orisun cathode arc ipin kekere, awọn orisun arc columnar, ati awọn orisun arc nla alapin onigun mẹrin. Awọn ẹya oriṣiriṣi ti awọn orisun arc kekere, awọn orisun arc columnar, ati awọn orisun arc nla le ṣee ṣeto lọtọ lati fi awọn fiimu pupọ-Layer ati awọn fiimu multilayer nano silẹ. Nibayi, nitori iwọn ionization ti irin giga ti epo ion cathodic arc ion, awọn ions irin le fa awọn gaasi ifasẹ diẹ sii, ti o mu abajade ilana jakejado ati iṣẹ ti o rọrun lati gba awọn aṣọ wiwu lile to dara julọ. Bibẹẹkọ, awọn isunmi isokuso wa ninu eto-kekere ti Layer ti a bo ti a gba nipasẹ ibora arc ion cathodic. Ni awọn ọdun aipẹ, ọpọlọpọ awọn imọ-ẹrọ tuntun ti farahan lati ṣatunṣe ilana ti Layer fiimu, eyiti o ti dara si didara fiimu ti a bo arc ion.