וואַקוום פּלאַזמע רייניקונג עקוויפּמענט אַדאַפּט ינאַגרייטיד סטרוקטור, יקוויפּט מיט RF יאָן רייניקונג סיסטעם, גאָר אָטאַמאַטיק קאָנטראָל, באַקוועם אָפּעראַציע און וישאַלט.
דער RF הויך-פרעקווענץ גענעראַטאָר קען דזשענערירן הויך-דענסיטי פּלאַזמע, אַקטיווירן, עטשינג און אשינג די ווערקפּיס ייבערפלאַך, עפעקטיוולי באַזייַטיקן דעם שטויב און גריס אויף דער פּראָדוקט ייבערפלאַך, באַפרייַען די ייבערפלאַך דרוק, און באַקומען פאַרשידן מאָדיפיקאַטיאָנס אויף דער ווערקפּיס ייבערפלאַך.
עס איז אָנווענדלעך צו גומע, גלאז, קעראַמיק, מעטאַל און אנדערע פּראָדוקטן, און איז געווענדט צו מיקראָעלעקטראָניק, LCD, LED, LCM, PCB קרייַז ברעט, האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקקאַגינג, מעדיציניש דעוויסעס, לעבן וויסנשאַפֿט עקספּערימענטן און אנדערע פעלדער.