עס זענען דא צוויי הויפּט אופנים פון יאָן שטראַל-געשטיצטע דעפּאָזיציע, איינע איז דינאַמישע כייבריד; די אַנדערע איז סטאַטישע כייבריד. די ערשטע באַציט זיך צו דעם פילם אין דעם וווּקס פּראָצעס וואָס ווערט שטענדיק באַגלייט דורך אַ געוויסע ענערגיע און שטראַל קראַנט פון יאָן באָמבאַרדירן און פילם; די צווייטע ווערט פאַר-דעפּאָזירט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט אַ שיכט פון ווייניקער ווי אַ פּאָר נאַנאָמעטער גרעב פון דער פילם שיכט, און דערנאָך דינאַמישע יאָן באָמבאַרדירן, און קען ווערן ריפּיטיד פילע מאָל און דער וווּקס פון דער פילם שיכט איז העכער.
די יאָן שטראַל ענערגיעס אויסגעקליבן פֿאַר יאָן שטראַל אַסיסטירט דעפּאָזיציע פון דין פילמען זענען אין די קייט פון 30 eV צו 100 keV. די ענערגיע קייט אויסגעקליבן דעפּענדס אויף די טיפּ פון אַפּלאַקיישאַן פֿאַר וואָס די פילם איז סינטעזירט. למשל, די צוגרייטונג פון קעראָוזשאַן שוץ, אַנטי-מעכאַניש טראָגן, דעקאָראַטיווע קאָוטינגז און אנדערע דין פילמען זאָל זיין אויסגעקליבן העכער באָמבאַרדירונג ענערגיע. עקספּערימענטן ווייַזן אַז, אַזאַ ווי די ברירה פון 20 צו 40keV ענערגיע פון די יאָן שטראַל באָמבאַרדירונג, די סאַבסטראַט מאַטעריאַל און די פילם זיך וועט נישט ווירקן די פאָרשטעלונג און נוצן פון די שעדיקן. אין די צוגרייטונג פון דין פילמען פֿאַר אָפּטיש און עלעקטראָניש דעוויסעס, נידעריקער ענערגיע יאָן שטראַל אַסיסטירט דעפּאָזיציע זאָל זיין אויסגעקליבן, וואָס ניט בלויז ראַדוסאַז די ליכט אַדסאָרפּטיאָן און אַוווידאַד די פאָרמירונג פון עלעקטריש אַקטיווייטיד חסרונות, אָבער אויך פאַסילאַטייץ די פאָרמירונג פון די מעמבראַנע ס סטאַביל שטאַט סטרוקטור. שטודיעס האָבן געוויזן אַז פילמען מיט ויסגעצייכנט פּראָפּערטיעס קענען זיין באקומען דורך טשוזינג יאָן ענערגיעס נידעריקער ווי 500 eV.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 11טן מערץ 2024