פאַקטאָרן וואָס ווירקן די פאָרשטעלונג פון וואַקוום יוואַפּעריישאַן פּלייטינג

1. די פארדאַמפּונג ראַטע וועט ווירקן אויף די אייגנשאַפטן פון די פארדאַמפּטע קאָוטינג

די פארדאמפונג ראטע האט א גרויסן איינפלוס אויף דעם דעפאזיטירטן פילם. ווייל די באדעקונג סטרוקטור וואס ווערט געשאפן דורך א נידריגער דעפאזיט ראטע איז לויז און גרינג צו פראדוצירן גרויסע פארטיקל דעפאזיט, איז עס זייער זיכער צו קלייבן א העכערע פארדאמפונג ראטע צו פארזיכערן די קאמפאקטקייט פון דער באדעקונג סטרוקטור. ווען דער דרוק פון רעשט גאז אין דער וואקיום קאמער איז קאנסטאנט, איז די באמבארדירונג ראטע פון ​​דעם סובסטראט א קאנסטאנטע ווערט. דעריבער, וועט דער רעשט גאז וואס איז אנטהאלטן אין דעם דעפאזיטירטן פילם נאך אויסקלייבן א העכערע דעפאזיט ראטע ווערן פארקלענערט, אזוי פארקלענערן די כעמישע רעאקציע צווישן די רעשט גאז מאלעקולן און די פארדאמפטע פילם פארטיקלען. דעריבער, קען די ריינקייט פון דעם דעפאזיטירטן פילם ווערן פארבעסערט. עס איז וויכטיג צו באמערקן אז אויב די דעפאזיט ראטע איז צו שנעל, קען עס פארגרעסערן דעם אינערליכן דרוק פון דעם פילם, עס וועט פארגרעסערן חסרונות אין דעם פילם, און אפילו פירן צו דעם צוריס פון דעם פילם. ספעציעל, אין דעם פראצעס פון רעאקטיווע פארדאמפונג באדעקן, כדי צו מאכן דעם רעאקציע גאז פולשטענדיג רעאגירן מיט די פארטיקלען פון דעם פארדאמפונג פילם מאטעריאל, קענט איר אויסקלייבן א נידריגערע דעפאזיט ראטע. נאטירלעך, קלייבן פארשידענע מאטעריאלן פארשידענע פארדאמפונג ראטעס. אלס א פראקטישער ביישפיל – די אפזעצונג פון א רעפלעקטיוון פילם, אויב די פילם גרעב איז 600×10-8 סענטימעטער און די פארדאמפונג צייט איז 3 סעקונדעס, איז די רעפלעקטיוויטי 93%. אבער, אויב די פארדאמפונג ראטע ווערט פארלאנגזאמט אונטער די זעלבע גרעב באדינגונגען, נעמט עס 10 מינוט צו פארענדיגן די פילם אפזעצונג. אין דעם מאמענט, איז די פילם גרעב די זעלבע. אבער, די רעפלעקטיוויטי איז געפאלן צו 68%.

2. סאַבטראַט טעמפּעראַטור וועט ווירקן אויף פֿאַרדאַמפּונג קאָוטינג

די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור האט אַ גרויסן איינפלוס אויף דער פארדאַמפּונג קאָוטינג. די רעשט גאַז מאַלעקולן וואָס זענען אַדסאָרבירט אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך ביי אַ הויכער סאַבסטראַט טעמפּעראַטור זענען גרינג צו באַזייַטיקן. ספּעציעל די עלימינאַציע פון ​​וואַסער פארע מאַלעקולן איז וויכטיקער. דערצו, ביי העכערע טעמפּעראַטורן, איז עס נישט נאָר גרינג צו העכערן די טראַנספאָרמאַציע פון ​​פיזישער אַדסאָרפּציע צו כעמישע אַדסאָרפּציע, אַזוי פאַרגרעסערן די בינדונג קראַפט צווישן פּאַרטיקלען. דערצו, קען עס אויך רעדוצירן דעם חילוק צווישן דער רעקריסטאַליזאַציע טעמפּעראַטור פון פארע מאַלעקולן און דער סאַבסטראַט טעמפּעראַטור, אַזוי רעדוצירן אָדער עלימינירן דעם אינערלעכן דרוק אויף דער פילם-באַזירטער צובינד. דערצו, ווייל די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור איז פֿאַרבונדן מיטן קריסטאַלינעם צושטאַנד פון דער פילם, איז עס אָפט גרינג צו פאָרמירן אַמאָרפֿישע אָדער מיקראָקריסטאַלינע קאָוטינגז אונטער דער באַדינגונג פון אַ נידעריקער סאַבסטראַט טעמפּעראַטור אָדער קיין באַהיצונג. פאַרקערט, ווען די טעמפּעראַטור איז הויך, איז עס גרינג צו פאָרמירן אַ קריסטאַלינע קאָוטינג. פאַרגרעסערן די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור איז אויך גינסטיק צו פֿאַרבעסערן די מעכאַנישע אייגנשאַפטן פון דער קאָוטינג. פֿאַרשטייט זיך, די סאַבסטראַט טעמפּעראַטור זאָל נישט זיין צו הויך צו פאַרמייַדן פארדאַמפּונג פון דער קאָוטינג.

3. רעזידועל גאז דרוק אין וואַקוום קאַמער וועט ווירקן אויף פילם פּראָפּערטיעס

דער דרוק פון רעשט גאז אין דער וואַקוום קאַמער האט אַ גרויסן איינפלוס אויף דער פאָרשטעלונג פון דער מעמבראַנע. די רעשט גאז מאַלעקולן מיט צו הויך דרוק זענען נישט נאָר גרינג צו קאָלידירן מיט די עוואַפּאָרייטינג פּאַרטיקאַלז, וואָס וועט רעדוצירן די קינעטישע ענערגיע פון ​​די מענטשן אויף די סאַבסטראַט און ווירקן די אַדכיזשאַן פון די פילם. אין דערצו, אַ צו הויך רעשט גאז דרוק וועט ערנסט ווירקן די ריינקייט פון די פילם און רעדוצירן די פאָרשטעלונג פון די קאָוטינג.

4. פארדאַמפּונג טעמפּעראַטור ווירקונג אויף פארדאַמפּונג קאָוטינג

דער עפעקט פון פארדאמפונג טעמפעראטור אויף מעמבראן פאָרשטעלונג ווערט געוויזן דורך דער ענדערונג פון פארדאמפונג ראטע מיט טעמפּעראַטור. ווען די פארדאמפונג טעמפעראטור איז הויך, וועט די היץ פון פארדאמפונג פארמינערט ווערן. אויב דער מעמבראן מאַטעריאַל ווערט פארדאמפט העכער ווי דער פארדאמפונג טעמפעראטור, קען אפילו א קליינע ענדערונג אין טעמפעראטור פאראורזאכן א שאַרפע ענדערונג אין דער פארדאמפונג ראטע פון ​​דעם מעמבראן מאַטעריאַל. דעריבער, איז עס זייער וויכטיק צו קאָנטראָלירן די פארדאמפונג טעמפעראטור גענוי בעת דעם דעפּאָזיציע פון ​​דעם פילם צו פארמיידן א גרויסן טעמפּעראַטור גראַדיענט ווען די פארדאמפונג מקור ווערט געהייצט. פאר דעם פילם מאַטעריאַל וואָס איז גרינג צו סובלימירן, איז עס אויך זייער וויכטיק צו אויסקלייבן דעם מאַטעריאַל אליין ווי דער כיטער פאר פארדאמפונג און אנדערע מיטלען.

5. רייניקונג צושטאַנד פון סאַבסטראַט און קאָוטינג קאַמער וועט ווירקן אויף קאָוטינג פאָרשטעלונג

די ווירקונג פון דער ריינקייט פון דעם סאַבסטראַט און די קאָוטינג קאַמער אויף די פאָרשטעלונג פון דער קאָוטינג קען נישט איגנאָרירט ווערן. עס וועט ניט נאָר ערנסט אַפעקטירן די ריינקייט פון די דעפּאָזיטעד פילם, אָבער אויך רעדוצירן די אַדכיזשאַן פון די פילם. דעריבער, די רייניקונג פון דעם סאַבסטראַט, די רייניקונג באַהאַנדלונג פון די וואַקוום קאָוטינג קאַמער און זייַן פֿאַרבונדענע קאַמפּאָונאַנץ (אַזאַ ווי די סאַבסטראַט ראַם) און די ייבערפלאַך דעגאַסינג זענען אַלע נייטיק פּראָצעסן אין דעם וואַקוום קאָוטינג פּראָצעס.