קאַנווענשאַנאַל טעקניקס פֿאַר דעפּאַזיטינג שווער קאָוטינגז

1. טערמישע CVD טעכנאָלאָגיע

האַרטע באַדעקונגען זענען מערסטנס מעטאַל קעראַמישע באַדעקונגען (TiN, אאז"וו), וואָס ווערן געשאַפן דורך דער רעאַקציע פון ​​מעטאַל אין דער באַדעקונג און רעאַקטיווער גאַזיפיקאַציע. אין אָנהייב, איז די טערמישע CVD טעכנאָלאָגיע געניצט געוואָרן צו צושטעלן די אַקטיוואַציע ענערגיע פון ​​קאָמבינאַציע רעאַקציע דורך טערמישע ענערגיע ביי אַ הויכער טעמפּעראַטור פון 1000 ℃. די טעמפּעראַטור איז נאָר פּאַסיק פֿאַר אַוועקלייגן TiN און אַנדערע האַרטע באַדעקונגען אויף צעמענטירטע קאַרבייד מכשירים. ביז איצט, איז עס נאָך אַ וויכטיקע טעכנאָלאָגיע פֿאַר אַוועקלייגן TiN – Al2O3 קאָמפּאָזיט באַדעקונגען אויף צעמענטירטע קאַרבייד מכשירים קעפּ.

1. ליידיקע קאַטאָדע יאָן קאָוטינג און הייס דראָט אַרק יאָן קאָוטינג

אין די 1980ער יארן, האט מען גענוצט ליידיגע קאטאד יאָן קאָוטינג און הייסע דראָט אַרק יאָן קאָוטינג צו לייגן באדעקטע שנייד-געצייג. ביידע פון ​​די יאָן קאָוטינג טעכנאָלאָגיעס זענען אַרק דיסטשאַרדזש יאָן קאָוטינג טעכנאָלאָגיעס, מיט אַ מעטאַל ייאַניזאַציע קורס פון ביז 20%~40%.

1. קאַטאָדע אַרק יאָן קאָוטינג

די אויפקום פון קאַטאָדישער אַרק יאָן קאָוטינג האט געפירט צו דער אַנטוויקלונג פון דער טעכנאָלאָגיע פון ​​אַוועקלייגן שווערע קאָוטינגז אויף פורמען. די ייאַניזאַציע קורס פון קאַטאָדישער אַרק יאָן קאָוטינג איז 60%~90%, וואָס אַלאַוז אַ גרויס נומער פון מעטאַל יאָנען און רעאַקציע גאַז יאָנען צו דערגרייכן די ייבערפלאַך פון די ווערקפּיס און נאָך האַלטן הויך טעטיקייט, ריזאַלטינג אין רעאַקציע אַוועקלייגן און פאָרמירונג פון שווערע קאָוטינגז אַזאַ ווי TiN. איצט, קאַטאָדיש אַרק יאָן קאָוטינג טעכנאָלאָגיע איז דער הויפּט געניצט צו אַוועקלייגן שווערע קאָוטינגז אויף פורמען.

די קאַטאָדע אַרק מקור איז אַ האַרט-שטאַט פארדאַמפּונג מקור אָן אַ פאַרפעסטיקטן געשמאָלצן בעקן, און די אַרק מקור פּאָזיציע קען זיין אַרביטרערלי געשטעלט, פֿאַרבעסערן די פּלאַץ נוצן קורס פון די קאָוטינג צימער און פאַרגרעסערן די אויוון לאָודינג קאַפּאַציטעט. די פֿאָרמען פון קאַטאָדע אַרק מקורים אַרייַננעמען קליין קייַלעכדיק קאַטאָדע אַרק מקורים, קאָלום אַרק מקורים, און רעכטעקיק פלאַך גרויס אַרק מקורים. פאַרשידענע קאַמפּאָונאַנץ פון קליין אַרק מקורים, קאָלום אַרק מקורים, און גרויס אַרק מקורים קענען זיין אָרדנט סעפּעראַטלי צו אַוועקלייגן מולטי-שיכטע פילמען און נאַנאָ מולטישיכטע פילמען. דערווייל, רעכט צו דער הויך מעטאַל ייאַניזיישאַן קורס פון קאַטאָדע אַרק יאָן קאָוטינג, מעטאַל יאָנען קענען אַבזאָרבירן מער רעאַקציע גאַזן, ריזאַלטינג אין אַ ברייט פּראָצעס קייט און פּשוט אָפּעראַציע צו באַקומען ויסגעצייכנט שווער קאָוטינגז. אָבער, עס זענען גראָב טראָפּאַלז אין די מיקראָ-סטרוקטור פון די קאָוטינג שיכט באקומען דורך קאַטאָדע אַרק יאָן קאָוטינג. אין די לעצטע יאָרן, פילע נייַע טעקנאַלאַדזשיז האָבן ימערדזשד צו ראַפינירן די סטרוקטור פון די פילם שיכט, וואָס האט ימפּרוווד די קוואַליטעט פון די אַרק יאָן קאָוטינג פילם.