Trong quá trình phủ bay hơi, quá trình hình thành và phát triển của lớp màng là cơ sở của nhiều công nghệ phủ ion khác nhau
1. Sự hình thành hạt nhân
Incông nghệ phủ bốc hơi chân không,sau khi các hạt lớp màng được bốc hơi khỏi nguồn bốc hơi dưới dạng các nguyên tử, chúng bay trực tiếp đến phôi trong chân không cao và tạo thành lớp màng bằng cách hình thành và phát triển trên bề mặt phôi. Trong quá trình bốc hơi chân không, năng lượng của các nguyên tử lớp màng thoát ra khỏi nguồn bốc hơi là khoảng 0,2eV. Khi lực kết dính giữa các hạt của lớp màng lớn hơn lực liên kết giữa các nguyên tử của lớp màng và phôi, tạo thành một hạt nhân đảo. Một nguyên tử lớp màng đơn lẻ nằm trên bề mặt phôi trong khoảng thời gian thực hiện chuyển động không đều, khuếch tán, di chuyển hoặc va chạm với các nguyên tử khác để tạo thành các cụm nguyên tử. Số lượng nguyên tử trong cụm nguyên tử đạt đến một giá trị tới hạn nhất định, một hạt nhân ổn định được hình thành, được gọi là hạt nhân có hình dạng đồng nhất.
trơn tru, và chứa nhiều khuyết tật và bước, gây ra sự khác biệt trong lực hấp phụ của các bộ phận khác nhau của phôi đối với các nguyên tử phóng xạ. Năng lượng hấp phụ của bề mặt khuyết tật lớn hơn năng lượng hấp phụ của bề mặt bình thường, do đó nó trở thành trung tâm hoạt động, có lợi cho sự hình thành hạt nhân ưu tiên, được gọi là sự hình thành hạt nhân không đồng nhất. Khi lực kết dính bằng với lực liên kết hoặc lực liên kết giữa các nguyên tử màng và phôi lớn hơn lực liên kết giữa các nguyên tử màng, cấu trúc dạng phiến được hình thành. Trong công nghệ mạ ion, lõi đảo được hình thành trong hầu hết các trường hợp.
2.Tăng trưởng
Sau khi lõi của màng được hình thành, nó tiếp tục phát triển bằng cách giữ lại các nguyên tử tới. Các đảo phát triển và kết hợp với nhau để tạo thành các bán cầu lớn hơn, dần dần hình thành lớp đảo hình bán cầu trải rộng trên bề mặt của phôi.
Khi năng lượng nguyên tử của lớp màng cao, nó có thể khuếch tán đủ trên bề mặt và có thể hình thành một lớp màng liên tục mịn khi các cụm nguyên tử tiếp theo nhỏ. Nếu sự khuếch tán của các nguyên tử trên bề mặt yếu và kích thước của các cụm lắng đọng lớn, chúng tồn tại dưới dạng các hạt nhân bán đảo lớn. Phần trên cùng của lõi đảo có hiệu ứng che bóng mạnh ở phần lõm, đó là "hiệu ứng bóng". Sự chiếu của bề mặt có lợi hơn cho việc thu giữ các nguyên tử lắng đọng tiếp theo và sự phát triển ưu tiên, dẫn đến độ lõm ngày càng tăng trên bề mặt để tạo thành các tinh thể hình nón hoặc hình cột có kích thước đủ. Các lỗ rỗng xuyên thấu được hình thành giữa các tinh thể hình nón và giá trị độ nhám bề mặt tăng lên. Có thể thu được mô mịn ở chân không cao, khi độ chân không giảm, cấu trúc vi mô của màng trở nên dày hơn và dày hơn.
Thời gian đăng: 24-05-2023