1. Tốc độ bay hơi sẽ ảnh hưởng đến tính chất của lớp phủ bay hơi
Tốc độ bay hơi có ảnh hưởng lớn đến màng lắng đọng. Vì cấu trúc lớp phủ được hình thành bởi tốc độ lắng đọng thấp lỏng lẻo và dễ tạo ra lắng đọng hạt lớn, nên rất an toàn khi chọn tốc độ bay hơi cao hơn để đảm bảo độ chặt của cấu trúc lớp phủ. Khi áp suất khí dư trong buồng chân không không đổi, tốc độ bắn phá của chất nền là một giá trị không đổi. Do đó, khí dư có trong màng lắng đọng sau khi chọn tốc độ lắng đọng cao hơn sẽ giảm, do đó làm giảm phản ứng hóa học giữa các phân tử khí dư và các hạt màng bay hơi. Do đó, độ tinh khiết của màng lắng đọng có thể được cải thiện. Cần lưu ý rằng nếu tốc độ lắng đọng quá nhanh, nó có thể làm tăng ứng suất bên trong của màng, sẽ làm tăng khuyết tật trong màng và thậm chí dẫn đến vỡ màng. Đặc biệt, trong quá trình mạ bốc hơi phản ứng, để khí phản ứng phản ứng hoàn toàn với các hạt của vật liệu màng bay hơi, bạn có thể chọn tốc độ lắng đọng thấp hơn. Tất nhiên, các vật liệu khác nhau sẽ chọn tốc độ bay hơi khác nhau. Ví dụ thực tế – lắng đọng màng phản quang, Nếu độ dày màng là 600×10-8cm và thời gian bay hơi là 3 giây, độ phản xạ là 93%. Tuy nhiên, nếu tốc độ bay hơi chậm lại trong cùng điều kiện độ dày, phải mất 10 phút để hoàn thành lắng đọng màng. Lúc này, độ dày màng là như nhau. Tuy nhiên, độ phản xạ đã giảm xuống còn 68%.
2. Nhiệt độ của nền sẽ ảnh hưởng đến lớp phủ bay hơi
Nhiệt độ của chất nền có ảnh hưởng lớn đến lớp phủ bay hơi. Các phân tử khí còn lại được hấp phụ trên bề mặt chất nền ở nhiệt độ chất nền cao dễ bị loại bỏ. Đặc biệt việc loại bỏ các phân tử hơi nước là quan trọng hơn. Hơn nữa, ở nhiệt độ cao hơn, không chỉ dễ thúc đẩy quá trình chuyển đổi từ hấp phụ vật lý sang hấp phụ hóa học, do đó làm tăng lực liên kết giữa các hạt. Hơn nữa, nó cũng có thể làm giảm sự chênh lệch giữa nhiệt độ kết tinh lại của các phân tử hơi và nhiệt độ chất nền, do đó làm giảm hoặc loại bỏ ứng suất bên trong trên giao diện dựa trên màng. Ngoài ra, do nhiệt độ chất nền liên quan đến trạng thái tinh thể của màng, nên thường dễ hình thành lớp phủ vô định hình hoặc vi tinh thể trong điều kiện nhiệt độ chất nền thấp hoặc không gia nhiệt. Ngược lại, khi nhiệt độ cao, dễ hình thành lớp phủ tinh thể. Tăng nhiệt độ chất nền cũng có lợi cho việc cải thiện các tính chất cơ học của lớp phủ. Tất nhiên, nhiệt độ chất nền không được quá cao để ngăn chặn sự bay hơi của lớp phủ.
3. Áp suất khí còn lại trong buồng chân không sẽ ảnh hưởng đến tính chất của màng
Áp suất khí dư trong buồng chân không có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của màng. Các phân tử khí dư có áp suất quá cao không chỉ dễ va chạm với các hạt bay hơi, mà còn làm giảm động năng của những người trên chất nền và ảnh hưởng đến độ bám dính của màng. Ngoài ra, áp suất khí dư quá cao sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng và làm giảm hiệu suất của lớp phủ.
4. Nhiệt độ bay hơi ảnh hưởng đến lớp phủ bay hơi
Hiệu ứng của nhiệt độ bay hơi đối với hiệu suất màng được thể hiện bằng sự thay đổi tốc độ bay hơi theo nhiệt độ. Khi nhiệt độ bay hơi cao, nhiệt độ bốc hơi sẽ giảm. Nếu vật liệu màng được bốc hơi trên nhiệt độ bay hơi, ngay cả một thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể gây ra sự thay đổi đột ngột về tốc độ bay hơi của vật liệu màng. Do đó, điều rất quan trọng là phải kiểm soát chính xác nhiệt độ bay hơi trong quá trình lắng đọng màng để tránh sự chênh lệch nhiệt độ lớn khi nguồn bay hơi được làm nóng. Đối với vật liệu màng dễ thăng hoa, việc lựa chọn chính vật liệu làm bộ gia nhiệt cho quá trình bay hơi và các biện pháp khác cũng rất quan trọng.
5. Tình trạng vệ sinh của lớp nền và buồng phủ sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất phủ
Không thể bỏ qua ảnh hưởng của độ sạch của chất nền và buồng phủ đối với hiệu suất của lớp phủ. Nó không chỉ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng phủ mà còn làm giảm độ bám dính của màng. Do đó, việc làm sạch chất nền, xử lý vệ sinh buồng phủ chân không và các thành phần liên quan (như khung chất nền) và khử khí bề mặt đều là những quy trình không thể thiếu trong quy trình phủ chân không.
Thời gian đăng: 28-02-2023