آئن بیم اسسٹڈ ڈپوزیشن موڈ اور اس کی انرجی سلیکشن

آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے کے دو اہم طریقے ہیں، ایک ڈائنامک ہائبرڈ؛ دوسرا جامد ہائبرڈ ہے۔ سابقہ ​​سے مراد نمو کے عمل میں فلم سے ہے جو ہمیشہ آئن بمباری اور فلم کی ایک خاص توانائی اور بیم کرنٹ کے ساتھ ہوتی ہے۔ مؤخر الذکر سبسٹریٹ کی سطح پر پہلے سے جمع کیا جاتا ہے فلم پرت کی چند نینو میٹر موٹائی سے کم کی ایک پرت، اور پھر متحرک آئن بمباری، اور کئی بار دہرایا جا سکتا ہے اور فلم پرت کی ترقی.

آئن بیم کی توانائیاں جو آئن بیم کی مدد سے پتلی فلموں کے جمع کرنے کے لیے منتخب کی گئی ہیں وہ 30 eV سے 100 keV کی حد میں ہیں۔ منتخب کردہ توانائی کی حد اطلاق کی قسم پر منحصر ہے جس کے لیے فلم کی ترکیب کی جا رہی ہے۔ مثال کے طور پر، سنکنرن تحفظ، مخالف میکانی لباس، آرائشی ملعمع کاری اور دیگر پتلی فلموں کی تیاری اعلی بمباری توانائی کا انتخاب کیا جانا چاہئے. تجربات سے پتہ چلتا ہے کہ، جیسے آئن بیم کی بمباری کی 20 سے 40keV توانائی کا انتخاب، سبسٹریٹ مواد اور فلم خود نقصان کی کارکردگی اور استعمال کو متاثر نہیں کرے گا۔ آپٹیکل اور الیکٹرانک آلات کے لیے پتلی فلموں کی تیاری میں، کم توانائی کے آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے کا انتخاب کیا جانا چاہیے، جو نہ صرف روشنی جذب کو کم کرتا ہے اور برقی طور پر متحرک نقائص کی تشکیل سے بچاتا ہے، بلکہ جھلی کی مستحکم حالت کی ساخت کی تشکیل میں بھی سہولت فراہم کرتا ہے۔ مطالعات سے پتہ چلتا ہے کہ بہترین خصوصیات والی فلمیں 500 eV سے کم آئن توانائیوں کا انتخاب کرکے حاصل کی جاسکتی ہیں۔

-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا