Ион нурлары ярдәмендә ике төп режим бар, берсе динамик гибрид; икенчесе статик гибрид. Соңгысы фильмны үсеш процессында күрсәтә, һәрвакыт билгеле бер энергия һәм ион бомбардирациясе һәм фильмның нур токы белән бергә бара; соңгысы субстрат өслегендә алдан куелган, кино катламының берничә нанометр калынлыгында, аннары динамик ион бомбардирасы, һәм күп тапкыр кабатланырга һәм кино катламы үсәргә мөмкин.
Ион нурлары өчен сайланган ион нурлары энергияләре 30 eV - 100 кВ диапазонында. Сайланган энергия диапазоны фильм синтезланган куллану төренә бәйле. Мәсәлән, коррозиядән саклау, анти-механик кием, декоратив каплау һәм башка нечкә фильмнар бомбардировщик энергиясен сайларга тиеш. Тикшеренүләр күрсәткәнчә, ион нурларын бомбардировать итүнең 20-40КВ энергиясен сайлау кебек, субстрат материал һәм фильм үзе зыянның эшенә һәм кулланылышына тәэсир итмәячәк. Оптик һәм электрон җайланмалар өчен нечкә пленкалар әзерләгәндә, түбән энергия ион нурлары ярдәмендә сайланырга кирәк, бу яктылыкның adsorbsionын киметеп кенә калмый, электр белән активлашкан җитешсезлекләр барлыкка килүдән саклый, шулай ук мембрананың тотрыклы структурасын формалаштыра. Тикшеренүләр күрсәткәнчә, искиткеч характерлы фильмнарны 500 eV-тан түбән ион энергиясен сайлап алу мөмкин.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 11-2024 март