Мембрана атомнары чүпләнү башлангач, ион бомбардирасы мембрана / субстрат интерфейсына түбәндәге йогынты ясый.
1) Физик катнашу. Energyгары энергияле ион инъекциясе аркасында, урнаштырылган атомнарның бөтерелүе һәм өслек атомнарының һәм каскадның бәрелешү феноменының субъект элементларының мембрана / төп интерфейсының якын өслегенә китерәчәк, диффузия булмаган кушылуның мембрана элементлары, бу катнашу эффекты мембрана / баз интерфейсы формалашуына ярдәм итәчәк, мембрана / баз интерфейсы, мембрана / диффузия катламы. Калын берничә микрометр, анда яңа этаплар барлыкка килергә мөмкин. Бу мембрананың / төп интерфейсның ябышу көчен яхшырту өчен бик уңайлы.
2) көчәйтелгән диффузия. Якын җирдәге югары җитешсезлек концентрациясе һәм югары температура диффузия тизлеген арттыра. Surfaceир өслеге нокта җитешсезлеге булганлыктан, кечкенә ионнар өслекне бозарга омтылалар, һәм ион бомбардирациясе өслекнең дефлекциясен тагын да көчәйтү һәм урнаштырылган һәм субстрат атомнарның үзара диффузиясен көчәйтү тәэсиренә ия.
(3) Нуклеация режимын яхшырту. Субстрат өслегендә конденсацияләнгән атомның үзлекләре аның үзара тәэсире һәм миграция үзенчәлекләре белән билгеләнә. Әгәр дә конденсацияләнгән атом белән субстрат өслеге арасында нык тәэсир булмаса, атом югары энергияле урында торучы яки бүтән таралган атомнар белән бәрелешкәнче таралачак. Бу нуклеация режимы реактив булмаган нуклеация дип атала. Оригинал реактив булмаган нуклеация режимына туры килсә дә, субстрат өслеген ион бомбардирлау аркасында күбрәк җитешсезлекләр тудырырга мөмкин, диффузия - реактив нуклеация режимы формалашуга уңайлырак булган нуклеация тыгызлыгын арттырырга мөмкин.
(4) Бер-берсенә бәйләнгән атомнарны өстенлекле бетерү. Surfaceир өстендәге атомнарның бөтерелүе җирле бәйләнеш торышы белән билгеләнә, һәм ион бомбардирасы иркен бәйләнгән атомнарны таркатырга мөмкин. Бу эффект диффузия-реактив интерфейслар формалашуда ачык күренә.
(5) surfaceир өслеген каплауны яхшырту һәм каплау әйләнәсен көчәйтү. Ион каплауның югары эшлекле газ басымы аркасында, парга әйләнгән яки чәчелгән атомнар таралуны көчәйтү өчен газ атомнары белән бәрелешкә дучар булалар, нәтиҗәдә яхшы каплау әйберләре бар.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 09-2023 декабрь