Buharlaşma kaplaması sırasında, film tabakasının çekirdeklenmesi ve büyümesi çeşitli iyon kaplama teknolojilerinin temelini oluşturur
1.Nükleasyon
Invakum buharlaştırma kaplama teknolojisi,film tabakası parçacıkları buharlaşma kaynağından atomlar halinde buharlaştırıldıktan sonra, yüksek vakumda doğrudan iş parçasına uçar ve iş parçasının yüzeyinde çekirdeklenme ve büyüme yoluyla film tabakasını oluştururlar. Vakum buharlaşması sırasında, buharlaşma kaynağından kaçan film tabakası atomlarının enerjisi yaklaşık 0,2 eV'dir. Film tabakasının parçacıkları arasındaki kohezyon, film tabakasının atomları ile iş parçası arasındaki bağ kuvvetinden büyük olduğunda, bir ada çekirdeği oluşturur. Tek bir film tabakası atomu, düzensiz hareket, difüzyon, göç veya atom kümeleri oluşturmak için diğer atomlarla çarpışma yaparak iş parçasının yüzeyinde bir süre kalır. Atom kümesindeki atom sayısı belirli bir kritik değere ulaştığında, homojen şekilli çekirdek adı verilen kararlı bir çekirdek oluşur.
pürüzsüzdür ve birçok kusur ve adım içerir, bu da iş parçasının farklı kısımlarının radyoaktif atomlara adsorpsiyon kuvvetinde farka neden olur. Kusurun yüzeyinin adsorpsiyon enerjisi normal yüzeyinkinden daha büyüktür, bu nedenle heterojen nükleasyon adı verilen tercihli nükleasyona elverişli olan aktif merkez haline gelir. Kohezif kuvvet bağlama kuvvetine eşit olduğunda veya membran atomları ile iş parçası arasındaki bağlama kuvveti membran atomları arasındaki kohezif kuvvetten daha büyük olduğunda, lameller yapı oluşur. İyon kaplama teknolojisinde, çoğu durumda ada çekirdeği oluşur.
2.Büyüme
Filmin çekirdeği oluştuktan sonra, olay atomlarını hapsederek büyümeye devam eder. Adalar büyür ve birbirleriyle birleşerek daha büyük yarım küreler oluşturur ve giderek iş parçasının yüzeyine yayılan yarım küre biçimli bir ada tabakası oluşturur.
Film tabakasının atom enerjisi yüksek olduğunda, yüzeyde yeterince yayılabilir ve sonraki gelen atom kümeleri küçük olduğunda düzgün bir sürekli film oluşabilir. Yüzeydeki atomların yayılımı zayıfsa ve biriken kümelerin boyutu büyükse, büyük yarımada çekirdekleri olarak bulunurlar. Ada çekirdeğinin tepesi, içbükey kısımda güçlü bir gölgeleme etkisine, yani "gölge etkisine" sahiptir. Yüzeyin izdüşümü, sonraki biriken atomları yakalamaya ve tercihli büyümeye daha elverişlidir ve bunun sonucunda yüzeyde artan derecede içbükeylik meydana gelerek yeterli büyüklükte konik veya sütunlu kristaller oluşur. Konik kristaller arasında nüfuz eden boşluklar oluşur ve yüzey pürüzlülük değeri artar. Yüksek vakumda ince doku elde edilebilir, vakum derecesinin azalmasıyla membranın mikro yapısı giderek kalınlaşır.
Yayınlanma zamanı: 24-Mayıs-2023