1. Buharlaşma oranı buharlaştırılmış kaplamanın özelliklerini etkileyecektir
Buharlaşma oranı, biriktirilen film üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Düşük biriktirme oranıyla oluşturulan kaplama yapısı gevşek ve büyük parçacık biriktirmesi üretmesi kolay olduğundan, kaplama yapısının kompaktlığını sağlamak için daha yüksek bir buharlaşma oranı seçmek çok güvenlidir. Vakum odasındaki artık gazın basıncı sabit olduğunda, alt tabakanın bombardıman oranı sabit bir değerdir. Bu nedenle, daha yüksek bir biriktirme oranı seçildikten sonra biriktirilen filmde bulunan artık gaz azaltılacak ve böylece artık gaz molekülleri ile buharlaşan film parçacıkları arasındaki kimyasal reaksiyon azaltılacaktır. Bu nedenle, biriktirilen filmin saflığı iyileştirilebilir. Biriktirme oranının çok hızlı olması durumunda filmin iç gerilimini artırabileceği, filmdeki kusurları artırabileceği ve hatta filmin kopmasına yol açabileceği unutulmamalıdır. Özellikle, reaktif buharlaşma kaplama sürecinde, reaksiyon gazının buharlaşma filmi malzemesinin parçacıklarıyla tam olarak reaksiyona girmesini sağlamak için daha düşük bir biriktirme oranı seçebilirsiniz. Elbette, farklı malzemeler farklı buharlaşma oranları seçer. Pratik bir örnek olarak - yansıtıcı filmin biriktirilmesi, Film kalınlığı 600×10-8 cm ve buharlaşma süresi 3 saniye ise, yansıtıcılık %93'tür. Ancak, buharlaşma hızı aynı kalınlık koşulu altında yavaşlatılırsa, film biriktirmenin tamamlanması 10 dakika sürer. Bu sırada, film kalınlığı aynıdır. Ancak, yansıtıcılık %68'e düşmüştür.
2. Alt tabaka sıcaklığı buharlaşma kaplamasını etkileyecektir
Alt tabaka sıcaklığı buharlaşma kaplaması üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Yüksek alt tabaka sıcaklığında alt tabaka yüzeyine adsorbe edilen artık gaz moleküllerinin uzaklaştırılması kolaydır. Özellikle su buharı moleküllerinin ortadan kaldırılması daha önemlidir. Dahası, daha yüksek sıcaklıklarda, sadece fiziksel adsorpsiyondan kimyasal adsorpsiyona dönüşümü teşvik etmek kolay değildir, böylece parçacıklar arasındaki bağlanma kuvveti artar. Dahası, buhar moleküllerinin yeniden kristalleşme sıcaklığı ile alt tabaka sıcaklığı arasındaki farkı da azaltabilir, böylece film tabanlı arayüzdeki iç stresi azaltabilir veya ortadan kaldırabilir. Ek olarak, alt tabaka sıcaklığı filmin kristalin durumuyla ilişkili olduğundan, düşük alt tabaka sıcaklığı veya ısıtma olmadığında genellikle amorf veya mikrokristalin kaplamalar oluşturmak kolaydır. Aksine, sıcaklık yüksek olduğunda, kristalin kaplama oluşturmak kolaydır. Alt tabaka sıcaklığını artırmak, kaplamanın mekanik özelliklerini iyileştirmeye de yardımcı olur. Elbette, alt tabaka sıcaklığı, kaplamanın buharlaşmasını önlemek için çok yüksek olmamalıdır.
3. Vakum odasındaki kalan gaz basıncı film özelliklerini etkileyecektir.
Vakum odasındaki artık gazın basıncı, membranın performansı üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Çok yüksek basınçlı artık gaz molekülleri, buharlaşan parçacıklarla çarpışmak için kolay olmakla kalmaz, bu da alt tabakadaki insanların kinetik enerjisini azaltır ve filmin yapışmasını etkiler. Ayrıca, çok yüksek artık gaz basıncı, filmin saflığını ciddi şekilde etkiler ve kaplamanın performansını düşürür.
4. Buharlaşma sıcaklığının buharlaşma kaplaması üzerindeki etkisi
Buharlaşma sıcaklığının membran performansı üzerindeki etkisi, buharlaşma hızının sıcaklığa bağlı olarak değişmesiyle gösterilir. Buharlaşma sıcaklığı yüksek olduğunda, buharlaşma ısısı azalacaktır. Membran malzemesi buharlaşma sıcaklığının üzerinde buharlaştırılırsa, sıcaklıktaki ufak bir değişiklik bile membran malzemesinin buharlaşma hızında keskin bir değişikliğe neden olabilir. Bu nedenle, buharlaşma kaynağı ısıtıldığında büyük sıcaklık gradyanından kaçınmak için filmin biriktirilmesi sırasında buharlaşma sıcaklığını doğru bir şekilde kontrol etmek çok önemlidir. Süblimleşmesi kolay olan film malzemesi için, buharlaşma ve diğer önlemler için ısıtıcı olarak malzemenin kendisini seçmek de çok önemlidir.
5. Alt tabakanın ve kaplama odasının temizlik durumu kaplama performansını etkileyecektir.
Alt tabakanın ve kaplama odasının temizliğinin kaplamanın performansı üzerindeki etkisi göz ardı edilemez. Bu, yalnızca biriktirilen filmin saflığını ciddi şekilde etkilemekle kalmayacak, aynı zamanda filmin yapışmasını da azaltacaktır. Bu nedenle, alt tabakanın saflaştırılması, vakum kaplama odasının ve ilgili bileşenlerinin (alt tabaka çerçevesi gibi) temizlik işlemi ve yüzey gazının alınması, vakum kaplama sürecinde vazgeçilmez süreçlerdir.
Gönderi zamanı: 28-Şub-2023