- Termal CVD teknolojisi
Sert kaplamalar çoğunlukla metal seramik kaplamalardır (TiN, vb.), bunlar kaplamadaki metalin reaksiyonu ve reaktif gazlaştırma ile oluşur. İlk olarak, termal CVD teknolojisi, 1000 ℃'lik yüksek bir sıcaklıkta termal enerji ile Kombinasyon reaksiyonunun aktivasyon enerjisini sağlamak için kullanıldı. Bu sıcaklık yalnızca çimentolu karbür takımlar üzerine TiN ve diğer sert kaplamaların biriktirilmesi için uygundur. Şimdiye kadar, çimentolu karbür takım kafaları üzerine TiN – Al2O3 kompozit kaplamaların biriktirilmesi için hala önemli bir teknolojidir.
- İçi boş katot iyon kaplama ve sıcak tel ark iyon kaplama
1980'lerde, içi boş katot iyon kaplama ve sıcak tel ark iyon kaplama, kaplamalı kesme takımlarını biriktirmek için kullanıldı. Bu iyon kaplama teknolojilerinin her ikisi de ark deşarjlı iyon kaplama teknolojileridir ve %20~%40'a kadar metal iyonizasyon oranına sahiptir.
- Katot ark iyon kaplaması
Katodik ark iyon kaplamasının ortaya çıkışı, kalıplara sert kaplamalar biriktirme teknolojisinin geliştirilmesine yol açmıştır. Katodik ark iyon kaplamasının iyonlaşma oranı %60~%90'dır ve bu da çok sayıda metal iyonunun ve reaksiyon gazı iyonunun iş parçasının yüzeyine ulaşmasını ve yine de yüksek aktiviteyi sürdürmesini sağlar, bu da reaksiyon birikimi ve TiN gibi sert kaplamaların oluşumuyla sonuçlanır. Şu anda, katodik ark iyon kaplama teknolojisi esas olarak kalıplara sert kaplamalar biriktirmek için kullanılır.
Katot ark kaynağı, sabit erimiş havuza sahip olmayan katı hal buharlaştırma kaynağıdır ve ark kaynağı konumu keyfi olarak yerleştirilebilir, bu da kaplama odasının alan kullanım oranını iyileştirir ve fırın yükleme kapasitesini artırır. Katot ark kaynaklarının şekilleri arasında küçük dairesel katot ark kaynakları, sütunlu ark kaynakları ve dikdörtgen düz büyük ark kaynakları bulunur. Küçük ark kaynaklarının, sütunlu ark kaynaklarının ve büyük ark kaynaklarının farklı bileşenleri, çok katmanlı filmler ve nano çok katmanlı filmler biriktirmek için ayrı ayrı düzenlenebilir. Bu arada, katot ark iyon kaplamasının yüksek metal iyonizasyon oranı nedeniyle, metal iyonları daha fazla reaksiyon gazı emebilir, bu da mükemmel sert kaplamalar elde etmek için geniş bir işlem aralığı ve basit bir işlemle sonuçlanır. Ancak, katot ark iyon kaplamasıyla elde edilen kaplama tabakasının mikro yapısında iri damlacıklar vardır. Son yıllarda, film tabakasının yapısını iyileştirmek için birçok yeni teknoloji ortaya çıkmış ve bu da ark iyon kaplama filminin kalitesini artırmıştır.
Gönderi zamanı: 20-Tem-2023