Boş katod gaty örtük enjamlarynyň tehniki prinsipi näme?

Ion örtügi, reaktiwleriň ýa-da bugarýan materiallaryň gaz ionlaryny ýa-da bugarýan materiallary ion bombasy bilen substratda goýulýandygyny, bugarýan materiallaryň bölünip aýrylandygyny ýa-da wakuum kamerasynda gazyň çykýandygyny aňladýar. Çukur katod gaty örtük enjamlarynyň tehniki ýörelgesi, içi boş katod zyňyndy tehnologiýasy bolan içi boş katod ion örtügi.

Çukurly katodyň zyňylmagy prinsipi barada: Içindäki katodyň zyňylmagy usuly, plazma şöhlesini döretmek üçin gyzgyn katod akymyny ulanýar, katod bolsa boş tantal turbasydyr. Katod we kömekçi anod biri-birine ýakyn, bu ýaýyň akymyny tutaşdyrýan iki polýusdyr.

Içindäki katod zyňyndy ýaragy iki taraplaýyn ýakylýar.
1, Katod tantal turbasyna ulanylýan ýokary ýygylykly elektrik meýdanynyň ulanylmagy, katod tantal turbasy argon gaz ionlaşmasyny argon ionlaryna öwrüp, soň bolsa argon ionlary tarapyndan yzygiderli bombalanyp, elektron zyňylyşynyň iň pes temperatura standartyna çenli gyzýança we plazma elektron şöhlesini döredýänçä.

2, 300V DC naprýa .eniýeniň ulanylmagynyň arasynda kömekçi anodda we katod tantal turbasynda, katod tantal turbasy henizem argon gazyna geçýär, 1Pa-10Pa argon gaz basyşynda, kömekçi anodda we katod tantal turbasynyň ýalpyldawuk hadysasynda, argon ion bombasynyň döremegi 23 katod kody, katod 24-nji katalog tantal turbasy köp sanly elektron çykarýar, “ýalpyldawuk akymdan” “ýaý akymyna” üýtgediler, bu gezek naprýa 30eniýe 30V-60V çenli pes bolar, şonda katod we elektrik üpjünçiliginiň arasyndaky anod bolsa, plazma elektron şöhlesini döredip bilersiňiz.

Katod örtük enjamlary
1 gun Asyl ýaragyň gurluşyny, iň ýokary tok 230A-dan 280A çenli gowulandyryň.
2 original Asyl sowadyş ulgamynyň gurluşyny gowulandyryň, asyl 4 ℃ buz suw maşynynyň sowadylmagyndan başlap, otag temperaturasyny sowadýan suw sowadyşyna çenli, ulanyjylar üçin elektrik energiýasyny tygşytlaň.
3, Magnit suwuklygyň geçiriş gurluşyna üýtgedilen asyl mehaniki geçiriş gurluşyny gowulandyryň, ýokary temperatura aýlanýan çarçuwany bökdemez.
4, täsirli örtük meýdany ￠ 650X1100, gaty uly göwrümli 750 X 1250X600 ululykdaky örtükli we dişli öndürijileri ýerleşdirip biler.

Içindäki katod ion örtük maşyny, esasan, gurallary, galyplary, uly aýna galyplaryny, plastmassa galyplaryny, pyçaklary we beýleki önümleri örtmekde ulanylýar.