Filmiň ösmegi bilen ýüzbe-ýüz bolmak gaty möhüm täsir edýär. Substratyň üstki çişligi uly bolsa we ýerüsti kemçilikler bilen barha birleşse, bu filmiň birikdirilmegine we ösüş depginine täsir eder. Şonuň üçin wakuum örtügi başlamazdan ozal substrat substratyň üstündäki çişligiň roluny oýnaýan deslapky gaýtadan işlener. Ultrases ses berişliginden soň, substratyň üstki bölegi kiçijik dyrnagy emele getirer, bu bolsa inçe film bölejikleriniň kontakt meýdanyny we substratyň üstüni artdyrar, bu rotoryň formallygyny we membrana bazasynyň birleşmesini ep-esli ýokarlandyryp biler.
Substrat materiallarynyň köpüsi üçin, substratyň gödekligi peselende, filmiň ýelimi ýokarlanýar, ýagny membrananyň esasy baglanyşyk güýji güýçlenýär; keramiki bazanyň film dakylmagy ýaly aýratyn ýagdaýlar bolan käbir substrat materiallar hem bar. Derejeleriň peselmegi, ýagny membrananyň esasy baglanyşyk güýji gowşaýar.
Filme we filme gabat gelýän täsir ediji faktorlarda ýylylyk köp koeffisiýenti aýgytly rol oýnaýar. Filmiň ýylylyk giňelme koeffisiýenti matrisanyň ýylylyk giňelme koeffisiýentinden uly bolanda, tork otrisatel we iň ýokary dartyş erkin araçäkde bolýar. Gysylmak üçin merkeziň merkezine ýakyn we film gatlakly bolup görünýär. Çökündi Skinus inçe filmini mysal hökmünde alyň. Göwheriň ýylylyk giňelme koeffisiýenti az bolany üçin, gaz fazasy çökdürilende substratyň temperaturasy has ýokary çökündi temperaturadan otag temperaturasyna çenli peselýär we göwheriň gysylmagy substrat bilen deňeşdirilende azalýar. Içinde uly ýylylyk stres döreder. Filmiň ýylylyk giňelme koeffisiýenti substratyň ýyladyş hasaba alyş koeffisiýentinden az bolanda, tork polo isitel bolup, filmi goýmak aňsat däl.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Fewral-29-2024