박막 성장에 있어 표면 거칠기는 매우 중요한 영향을 미칩니다. 기판 표면의 거칠기가 크고 표면 결함이 많을수록 박막의 부착 및 성장 속도에 악영향을 미칩니다. 따라서 진공 코팅 전에 기판을 전처리하여 기판 표면의 거칠기를 조절합니다. 초음파 처리를 통해 기판 표면에 미세한 스크래치를 형성함으로써 박막 입자와 기판 표면 사이의 접촉 면적을 증가시켜 로터의 형성성과 박막 기판의 결합력을 크게 향상시킬 수 있습니다.
대부분의 기판 재료의 경우, 기판의 거칠기가 감소할수록 필름 접착력이 증가하는데, 이는 필름 기저 결합력이 강해진다는 것을 의미합니다. 그러나 세라믹 기판과 같은 일부 기판 재료에서는 필름 접착력이 감소하는 특수한 경우도 있는데, 이는 필름 기저 결합력이 약해진다는 것을 의미합니다.
박막과 기판 사이의 접촉에 영향을 미치는 요인 중 열팽창 계수가 결정적인 역할을 합니다. 박막의 열팽창 계수가 기판의 열팽창 계수보다 크면 토크는 음의 값을 가지며, 최대 인장력은 자유 경계면에서 발생합니다. 중심부에 가까울수록 압축이 심해져 박막에 층상 구조가 나타날 수 있습니다. 예를 들어, 증착된 스키너스 박막을 생각해 보겠습니다. 다이아몬드의 열팽창 계수가 작기 때문에 기상 증착이 완료된 후 기판 온도가 높은 증착 온도에서 상온으로 낮아지면 다이아몬드의 수축이 기판에 비해 상대적으로 적어 내부에 큰 열응력이 발생합니다. 반대로 박막의 열팽창 계수가 기판의 열팽창 계수보다 작으면 토크는 양의 값을 가지며, 박막의 층상 구조 형성이 용이합니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 2월 29일