O le foliga o le fogāeleele ma le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela o le mea fa'apipi'i i luga o le ata tifaga

O le feagai ai ma le tuputupu aʻe o le ata tifaga e iai sona aafiaga taua tele. Afai e tele le mageso o le fogaeleele o le substrate, ma faʻateleina pea ona tuʻufaʻatasia ma faʻaletonu o le fogaeleele, o le a aʻafia ai le faʻapipiʻiina ma le saoasaoa o le tuputupu aʻe o le ata tifaga. O le mea lea, aʻo leʻi amataina le ufiufi o le vacuum, o le a muamua faʻagasoloina le substrate, lea e faia ai le matafaioi o le mageso o le fogaeleele o le substrate i luga o le fogaeleele o le substrate. A maeʻa le faʻaogaina o le ultrasonic, o le fogaeleele o le substrate o le a fausia ai se tamaʻi maosi, lea e faʻateleina ai le vaega o fesoʻotaʻiga o vaega o le ata tifaga manifinifi ma le fogaeleele o le substrate, lea e mafai ona faʻateleina ai le faʻatulagaina o le rotor ma le tuʻufaʻatasia o le faʻavae membrane.

Mo le tele o mea o le substrate, a'o fa'aitiitia le ma'a'a o le substrate, e fa'ateleina ai le pipii o le ata tifaga, o lona uiga, e fa'amalosia ai le malosi o le fusifusia o le fa'avae membrane; e iai fo'i nisi o mea o le substrate o ni tulaga fa'apitoa, e pei o le pipii o le ata tifaga o le fa'avae seramika. A fa'aitiitia tikeri, o lona uiga, e fa'avaivaia ai le malosi o le fusifusia o le fa'avae membrane.

I mea e aʻafia ai e fetaui ma le ata tifaga ma le ata tifaga, e iai se sao taua o le thermal bulk coefficient. Afai e sili atu le thermal expansion coefficient o le ata tifaga nai lo le thermal expansion coefficient o le matrix, e leaga le torque, ma o le maualuga o le tension o loʻo i le free boundary. E latalata i le ogatotonu o le ogatotonu e faʻapipiʻi ai, ma e ono foliga mai o le ata tifaga o loʻo faʻaputuina. Seʻi fai ma faʻataʻitaʻiga le sedimentary Skinus thin film. Talu ai e laʻititi le thermal expansion coefficient o le taimane, a maeʻa le gas phase deposition, e faʻaitiitia le vevela o le substrate mai le maualuga o le sedimentary temperature i le vevela o le potu, ma e faʻaitiitia le faʻapuʻupuʻuina o le taimane pe a faʻatusatusa i le substrate. O le a tupu mai ai se thermal stress tele i totonu. Afai e laʻititi le thermal expansion coefficient o le ata tifaga nai lo le heating ledger coefficient o le substrate, e lelei le torque, ma e le faigofie ona faʻaputuina le ata tifaga.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua