Ang hugis ng ibabaw at koepisyent ng thermal expansion ng substrate sa pelikula

Ang pagharap sa paglaki ng pelikula ay may napakahalagang epekto. Kung ang pagkamagaspang sa ibabaw ng substrate ay malaki, at lalong sinamahan ng mga depekto sa ibabaw, makakaapekto ito sa pagkabit at bilis ng paglaki ng pelikula. Samakatuwid, bago magsimula ang vacuum coating, ang substrate ay sasailalim sa pre-processing, na gumaganap ng papel ng pagkamagaspang sa ibabaw ng substrate sa ibabaw ng substrate. Pagkatapos ng ultrasonic intervention, ang ibabaw ng substrate ay bubuo ng isang maliit na gasgas, na nagpapataas sa lugar ng pakikipag-ugnayan ng mga manipis na particle ng pelikula at ng ibabaw ng substrate, na maaaring makabuluhang mapataas ang pormalidad ng rotor at ang kumbinasyon ng base ng lamad.

Para sa karamihan ng mga materyales sa substrate, habang bumababa ang pagkamagaspang ng substrate, tumataas ang pagdikit ng film, ibig sabihin, lumalakas ang puwersa ng pagdikit ng membrane base; mayroon ding ilang mga materyales sa substrate na may mga espesyal na kaso, tulad ng pagdikit ng film ng ceramic base. Ang pagbaba ng digri, ibig sabihin, humihina ang puwersa ng pagdikit ng membrane base.

Sa mga salik na nakakaimpluwensya na tumutugma sa pelikula at pelikula, ang thermal bulk coefficient ay gumaganap ng isang mapagpasyang papel. Kapag ang thermal expansion coefficient ng pelikula ay mas malaki kaysa sa thermal expansion coefficient ng matrix, ang torque ay negatibo, at ang maximum tension ay nasa free boundary. Malapit ito sa gitna ng sentro upang ma-compress, at ang pelikula ay maaaring magmukhang may layer. Kunin nating halimbawa ang sedimentary Skinus thin film. Dahil maliit ang thermal expansion coefficient ng diamond, kapag tapos na ang gas phase deposition, ang temperatura ng substrate ay bumababa mula sa mas mataas na sedimentary temperature patungo sa room temperature, at ang contraction ng diamond ay nababawasan kumpara sa substrate. Isang malaking thermal stress ang bubuo sa loob. Kapag ang thermal expansion coefficient ng pelikula ay mas mababa kaysa sa heating ledger coefficient ng substrate, ang torque ay positibo, at ang pelikula ay hindi madaling i-layer.

–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua