Мубориза бо афзоиши плёнка таъсири хеле муҳим дорад. Агар ноҳамвории сатҳи субстрат калон бошад ва бо нуқсонҳои сатҳӣ бештар ва бештар якҷоя шавад, он ба часпидан ва суръати афзоиши плёнка таъсир мерасонад. Аз ин рӯ, пеш аз оғози пӯшиши вакуумӣ, субстрат пешакӣ коркард карда мешавад, ки нақши ноҳамвории сатҳи субстратро дар сатҳи субстрат мебозад. Пас аз дахолати ултрасадо, сатҳи субстрат харошидани хурдро ба вуҷуд меорад, ки майдони тамос байни зарраҳои тунуки плёнка ва сатҳи субстратро зиёд мекунад, ки метавонад расмияти ротор ва омезиши пойгоҳи мембранаро ба таври назаррас афзоиш диҳад.
Барои аксари маводҳои зеризаминӣ, бо коҳиш ёфтани ноҳамвории зеризаминӣ, часпиши плёнка меафзояд, яъне қувваи пайвастшавии пояи мембрана қавитар мешавад; инчунин баъзе маводҳои зеризаминӣ мавҷуданд, ки ҳолатҳои махсус мебошанд, ба монанди пайвастшавии плёнкаи пояи сафолӣ. Дараҷаҳои пастшуда, яъне қувваи пайвастшавии пояи мембрана заиф мешаванд.
Дар омилҳои таъсиррасоне, ки ба плёнка ва плёнка мувофиқат мекунанд, коэффитсиенти гармии ҳаҷмии он нақши ҳалкунанда дорад. Вақте ки коэффитсиенти васеъшавии гармии плёнка аз коэффитсиенти васеъшавии гармии матритса зиёдтар аст, моменти гардиш манфӣ аст ва шиддати максималӣ дар сарҳади озод қарор дорад. Он ба маркази марказ наздик аст, то фишурда шавад ва плёнка метавонад қабатдор ба назар расад. Плёнкаи тунуки таҳшинии Skinus-ро ҳамчун мисол гиред. Азбаски коэффитсиенти васеъшавии гармии алмос хурд аст, вақте ки таҳшиншавии фазаи газ ба охир мерасад, ҳарорати субстрат аз ҳарорати баландтари таҳшинӣ то ҳарорати хонагӣ паст мешавад ва кашиши алмос нисбат ба субстрат кам мешавад. Дар дохили он фишори калони гармӣ ба вуҷуд меояд. Вақте ки коэффитсиенти васеъшавии гармии плёнка аз коэффитсиенти дафтари гармкунии субстрат камтар аст, моменти гардиш мусбат аст ва қабат кардани плёнка осон нест.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 29 феврали соли 2024