Obserwacja wzrostu warstwy ma bardzo istotny wpływ. Jeśli chropowatość powierzchni podłoża jest duża i coraz częściej występuje wraz z defektami powierzchni, będzie to miało wpływ na przyczepność i tempo wzrostu warstwy. Dlatego przed rozpoczęciem powlekania próżniowego podłoże jest poddawane wstępnej obróbce, która odgrywa rolę w chropowatości powierzchni podłoża. Po interwencji ultradźwiękowej na powierzchni podłoża powstanie niewielka rysa, która zwiększy powierzchnię styku cząstek cienkiej warstwy z powierzchnią podłoża, co może znacznie zwiększyć formalność wirnika i połączenie z podstawą membrany.
W przypadku większości materiałów podłoża, wraz ze zmniejszaniem się chropowatości podłoża, wzrasta przyczepność folii, czyli siła wiązania podstawy membrany staje się silniejsza; istnieją również niektóre materiały podłoża, które stanowią przypadki szczególne, takie jak wiązanie folii z podstawą ceramiczną. Stopień skrócenia tej siły, czyli siła wiązania podstawy membrany, ulega osłabieniu.
Wśród czynników wpływających na dopasowanie warstwy do siebie, decydującą rolę odgrywa współczynnik rozszerzalności cieplnej. Gdy współczynnik rozszerzalności cieplnej warstwy jest większy niż współczynnik rozszerzalności cieplnej matrycy, moment obrotowy jest ujemny, a maksymalne naprężenie występuje na swobodnej granicy. Jest ona blisko środka, co powoduje ściśnięcie, a warstwa może wydawać się warstwowa. Weźmy na przykład cienką warstwę osadową Skinus. Ponieważ współczynnik rozszerzalności cieplnej diamentu jest mały, po zakończeniu osadzania w fazie gazowej temperatura podłoża spada z wyższej temperatury osadowej do temperatury pokojowej, a skurcz diamentu w porównaniu z podłożem ulega zmniejszeniu. Wewnątrz powstaje duże naprężenie cieplne. Gdy współczynnik rozszerzalności cieplnej warstwy jest mniejszy niż współczynnik rozszerzalności cieplnej podłoża, moment obrotowy jest dodatni, a warstwa nie jest łatwa do warstwowania.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 29-02-2024