Рост пленки имеет очень важное значение. Если шероховатость поверхности подложки велика и в ней все больше дефектов, это повлияет на прикрепление и скорость роста пленки. Поэтому перед началом вакуумного напыления подложка подвергается предварительной обработке, в ходе которой шероховатость поверхности подложки влияет на ее состояние. После ультразвуковой обработки на поверхности подложки образуются небольшие царапины, что увеличивает площадь контакта частиц тонкой пленки с поверхностью подложки, что может значительно повысить формовку ротора и сцепление с мембранной основой.
Для большинства материалов подложки, по мере уменьшения шероховатости подложки, адгезия пленки увеличивается, то есть сила сцепления мембраны с основанием становится сильнее; однако существуют и некоторые особые случаи, например, прикрепление пленки к керамической основе. В этом случае сила сцепления мембраны с основанием уменьшается, то есть ослабевает.
В факторах, влияющих на пленку и ее структуру, решающую роль играет коэффициент теплового расширения. Когда коэффициент теплового расширения пленки превышает коэффициент теплового расширения матрицы, крутящий момент становится отрицательным, а максимальное натяжение возникает на свободной границе. Вблизи центра происходит сжатие, и пленка может стать слоистой. В качестве примера рассмотрим тонкую пленку Skinus, полученную методом осаждения. Поскольку коэффициент теплового расширения алмаза мал, после завершения газофазного осаждения температура подложки снижается с более высокой температуры осаждения до комнатной температуры, и сжатие алмаза уменьшается по сравнению с подложкой. Внутри пленки возникает большое термическое напряжение. Когда коэффициент теплового расширения пленки меньше коэффициента теплового расширения подложки, крутящий момент становится положительным, и пленка нелегко становится слоистой.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 29 февраля 2024 г.