फिल्म की वृद्धि पर इसका बहुत महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है। यदि सब्सट्रेट की सतह खुरदरी है और उसमें सतही दोष भी अधिक हैं, तो यह फिल्म के जुड़ाव और वृद्धि दर को प्रभावित करेगा। इसलिए, वैक्यूम कोटिंग शुरू होने से पहले, सब्सट्रेट का पूर्व-प्रसंस्करण किया जाता है, जो सब्सट्रेट की सतह की खुरदरापन को कम करने में सहायक होता है। अल्ट्रासोनिक उपचार के बाद, सब्सट्रेट की सतह पर छोटे-छोटे खरोंच बन जाते हैं, जिससे पतली फिल्म के कणों और सब्सट्रेट की सतह का संपर्क क्षेत्र बढ़ जाता है, जो रोटर की संरचना और झिल्ली आधार के संयोजन को काफी हद तक बेहतर बना सकता है।
अधिकांश सब्सट्रेट सामग्रियों के लिए, सब्सट्रेट की खुरदरापन कम होने पर फिल्म का आसंजन बढ़ता है, यानी झिल्ली आधार का बंधन बल मजबूत होता जाता है; हालांकि, कुछ सब्सट्रेट सामग्रियां विशेष मामले हैं, जैसे कि सिरेमिक आधार पर फिल्म का आसंजन। खुरदरापन कम होने पर झिल्ली आधार का बंधन बल कमजोर हो जाता है।
फिल्म और मैट्रिक्स के बीच संबंध स्थापित करने वाले कारकों में, तापीय संकुलन गुणांक निर्णायक भूमिका निभाता है। जब फिल्म का तापीय संकुलन गुणांक मैट्रिक्स के तापीय संकुलन गुणांक से अधिक होता है, तो बल्क ऋणात्मक होता है और अधिकतम तनाव मुक्त सीमा पर होता है। केंद्र के निकट यह संकुचित हो जाता है और फिल्म परतदार दिखाई दे सकती है। उदाहरण के लिए, अवसादी स्किनस पतली फिल्म को लें। चूंकि हीरे का तापीय संकुलन गुणांक कम होता है, इसलिए गैसीय निक्षेपण प्रक्रिया पूरी होने पर, सब्सट्रेट का तापमान उच्च अवसादी तापमान से कमरे के तापमान तक कम हो जाता है, और सब्सट्रेट की तुलना में हीरे का संकुचन कम हो जाता है। इससे भीतर एक बड़ा तापीय तनाव उत्पन्न होता है। जब फिल्म का तापीय संकुलन गुणांक सब्सट्रेट के तापीय संकुलन गुणांक से कम होता है, तो बल्क धनात्मक होता है और फिल्म में परतदार संरचना बनना आसान नहीं होता है।
–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: 29 फरवरी 2024