Việc xử lý bề mặt có tác động rất quan trọng đến sự phát triển của màng phim. Nếu độ nhám bề mặt của chất nền lớn, và ngày càng nhiều khuyết tật bề mặt kết hợp, nó sẽ ảnh hưởng đến tốc độ bám dính và phát triển của màng phim. Do đó, trước khi bắt đầu quá trình phủ chân không, chất nền sẽ được xử lý sơ bộ, điều này giúp giảm độ nhám bề mặt của chất nền. Sau khi tác động bằng sóng siêu âm, bề mặt chất nền sẽ hình thành các vết xước nhỏ, làm tăng diện tích tiếp xúc giữa các hạt màng phim mỏng và bề mặt chất nền, từ đó có thể cải thiện đáng kể độ bám dính của màng phim và sự kết hợp của lớp màng.
Đối với hầu hết các vật liệu nền, khi độ nhám của bề mặt giảm, độ bám dính của màng tăng lên, tức là lực liên kết giữa màng và đế trở nên mạnh hơn; cũng có một số vật liệu nền là trường hợp đặc biệt, chẳng hạn như độ bám dính của màng trên nền gốm giảm, tức là lực liên kết giữa màng và đế trở nên yếu hơn.
Trong các yếu tố ảnh hưởng đến sự phù hợp giữa màng và chất nền, hệ số giãn nở nhiệt đóng vai trò quyết định. Khi hệ số giãn nở nhiệt của màng lớn hơn hệ số giãn nở nhiệt của chất nền, mômen xoắn sẽ âm, và ứng suất cực đại nằm ở ranh giới tự do. Vùng gần tâm bị nén, và màng có thể bị phân lớp. Lấy ví dụ màng mỏng Skinus lắng đọng. Vì hệ số giãn nở nhiệt của kim cương nhỏ, khi quá trình lắng đọng pha khí kết thúc, nhiệt độ chất nền giảm từ nhiệt độ lắng đọng cao xuống nhiệt độ phòng, và sự co lại của kim cương giảm so với chất nền. Một ứng suất nhiệt lớn sẽ được tạo ra bên trong. Khi hệ số giãn nở nhiệt của màng nhỏ hơn hệ số giãn nở nhiệt của chất nền, mômen xoắn sẽ dương, và màng khó bị phân lớp.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 29/02/2024