Filmin büyüme hızı üzerinde çok önemli bir etkisi vardır. Eğer alt tabakanın yüzey pürüzlülüğü büyükse ve yüzey kusurlarıyla birleşirse, filmin yapışmasını ve büyüme hızını etkileyecektir. Bu nedenle, vakum kaplamaya başlamadan önce, alt tabaka ön işleme tabi tutulur; bu işlem, alt tabakanın yüzeyindeki pürüzlülüğü azaltma rolünü oynar. Ultrasonik müdahaleden sonra, alt tabakanın yüzeyinde küçük çizikler oluşur; bu da ince film parçacıklarının ve alt tabakanın yüzeyinin temas alanını artırır ve rotorun ve membran tabanının birleşiminin düzgünlüğünü önemli ölçüde artırabilir.
Çoğu alt tabaka malzemesi için, alt tabakanın pürüzlülüğü azaldıkça film yapışması artar, yani membran taban bağlama kuvveti güçlenir; seramik taban gibi bazı özel durumlar da söz konusudur. Bu durumda pürüzlülük azalır, yani membran taban bağlama kuvveti zayıflar.
Film ve film eşleşmesini etkileyen faktörler arasında, termal hacim katsayısı belirleyici bir rol oynar. Filmin termal genleşme katsayısı matrisin termal genleşme katsayısından büyük olduğunda, tork negatiftir ve maksimum gerilim serbest sınırda oluşur. Sıkışmanın merkezine yakın bir yerde oluşur ve film katmanlı görünebilir. Sedimanter Skinus ince filmi örnek olarak ele alalım. Elmasın termal genleşme katsayısı küçük olduğundan, gaz fazı biriktirme işlemi tamamlandığında, alt tabaka sıcaklığı daha yüksek bir sedimantasyon sıcaklığından oda sıcaklığına düşer ve elmasın büzülmesi alt tabakaya göre azalır. İçeride büyük bir termal gerilim oluşacaktır. Filmin termal genleşme katsayısı alt tabakanın ısı birikim katsayısından küçük olduğunda, tork pozitiftir ve filmde katmanlaşma kolay değildir.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 29 Şubat 2024