شكل السطح ومعامل التمدد الحراري للركيزة على الفيلم

يُعدّ نموّ طبقة الفيلم عاملاً بالغ الأهمية. فإذا كانت خشونة سطح الركيزة كبيرة، وتزداد معها العيوب السطحية، فإنّ ذلك سيؤثر على التصاق الفيلم ومعدل نموّه. لذا، قبل بدء عملية الطلاء الفراغي، تُجرى معالجة مسبقة للركيزة، حيث تُقلّل خشونة سطحها من تأثيرها على التصاق الفيلم. بعد المعالجة بالموجات فوق الصوتية، يتشكّل خدش صغير على سطح الركيزة، مما يزيد من مساحة التلامس بين جزيئات الفيلم الرقيق وسطح الركيزة، وبالتالي يُحسّن بشكل ملحوظ من تماسك الفيلم مع قاعدة الغشاء.

بالنسبة لمعظم مواد الركيزة، كلما انخفضت خشونة الركيزة، زادت قوة التصاق الغشاء، أي ازدادت قوة ربط الغشاء بالقاعدة. إلا أن هناك بعض مواد الركيزة التي تُمثل حالات خاصة، مثل التصاق الغشاء بالقاعدة الخزفية، حيث تنخفض قوة الربط، أي تضعف قوة ربط الغشاء بالقاعدة.

في العوامل المؤثرة التي تُطابق خصائص الفيلم، يلعب معامل التمدد الحراري الحجمي دورًا حاسمًا. عندما يكون معامل التمدد الحراري للفيلم أكبر من معامل التمدد الحراري للمادة الأساسية، يكون عزم الدوران سالبًا، ويكون أقصى شد عند الحد الحر. أما بالقرب من المركز، فيحدث انضغاط، وقد يظهر الفيلم على شكل طبقات. لنأخذ فيلم Skinus الرقيق الرسوبي كمثال. نظرًا لصغر معامل التمدد الحراري للماس، فعند اكتمال ترسيب الطور الغازي، تنخفض درجة حرارة الركيزة من درجة حرارة الترسيب العالية إلى درجة حرارة الغرفة، ويقل انكماش الماس مقارنةً بالركيزة. سينتج عن ذلك إجهاد حراري كبير في الداخل. عندما يكون معامل التمدد الحراري للفيلم أقل من معامل التمدد الحراري للركيزة، يكون عزم الدوران موجبًا، ويصعب تكوين طبقات في الفيلم.

– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا