Das Wachstum des Films hat einen entscheidenden Einfluss. Eine hohe Oberflächenrauheit des Substrats, insbesondere in Kombination mit Oberflächenfehlern, beeinträchtigt die Anhaftung und Wachstumsrate des Films. Daher wird das Substrat vor der Vakuumbeschichtung vorbehandelt, um die Oberflächenrauheit zu reduzieren. Durch die Ultraschallbehandlung entstehen feine Kratzer auf der Substratoberfläche, wodurch die Kontaktfläche zwischen den Dünnschichtpartikeln und der Substratoberfläche vergrößert wird. Dies verbessert die Haftung des Rotors und die Verbindung mit der Membranbasis deutlich.
Bei den meisten Substratmaterialien nimmt die Filmhaftung mit abnehmender Substratrauigkeit zu, d. h. die Bindungskraft zwischen Membran und Träger wird stärker. Es gibt jedoch auch Sonderfälle, wie beispielsweise die Haftung des Films auf Keramiksubstraten. Hier nimmt die Haftung ab, d. h. die Bindungskraft zwischen Membran und Träger wird schwächer.
Bei den Einflussfaktoren, die die Wechselwirkung zwischen Film und Matrix bestimmen, spielt der thermische Ausdehnungskoeffizient eine entscheidende Rolle. Ist der thermische Ausdehnungskoeffizient des Films größer als der des Substrats, ist das Drehmoment negativ, und die maximale Spannung tritt an der freien Grenzfläche auf. Nahe dem Zentrum wird der Film komprimiert, und es kann zu Schichtbildung kommen. Nehmen wir beispielsweise einen sedimentierten Skinus-Dünnfilm. Da Diamant einen geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten besitzt, sinkt die Substrattemperatur nach der Gasphasenabscheidung von der höheren Sedimentationstemperatur auf Raumtemperatur, wodurch sich die Kontraktion des Diamanten im Vergleich zum Substrat verringert. Dies führt zu hohen thermischen Spannungen im Inneren. Ist der thermische Ausdehnungskoeffizient des Films hingegen kleiner als der des Substrats, ist das Drehmoment positiv, und die Schichtbildung wird erschwert.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsmaschinenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungsdatum: 29. Februar 2024