A forma da superfície e o coeficiente de expansão térmica do substrato no filme.

O crescimento do filme tem um impacto muito importante. Se a rugosidade da superfície do substrato for grande e, em conjunto com outros defeitos superficiais, isso afetará a adesão e a taxa de crescimento do filme. Portanto, antes do início da deposição a vácuo, o substrato passa por um pré-processamento que melhora a rugosidade da sua superfície. Após a intervenção ultrassônica, a superfície do substrato apresenta pequenos riscos, o que aumenta a área de contato entre as partículas do filme fino e a superfície do substrato, podendo melhorar significativamente a aderência do rotor e a combinação com a base da membrana.

Para a maioria dos materiais de substrato, à medida que a rugosidade do substrato diminui, a adesão do filme aumenta, ou seja, a força de ligação da base da membrana torna-se mais forte; existem também alguns materiais de substrato que são casos especiais, como a adesão do filme em bases cerâmicas. Nesses casos, a adesão diminui, ou seja, a força de ligação da base da membrana torna-se mais fraca.

Dentre os fatores que influenciam a conformação do filme, o coeficiente de expansão térmica desempenha um papel decisivo. Quando o coeficiente de expansão térmica do filme é maior que o coeficiente de expansão térmica da matriz, o torque é negativo e a tensão máxima ocorre na borda livre. Próximo ao centro, ocorre compressão, e o filme pode apresentar estratificação. Tomemos como exemplo o filme fino de diamante depositado por sedimentação. Como o coeficiente de expansão térmica do diamante é pequeno, após a deposição em fase gasosa, a temperatura do substrato diminui de uma temperatura de sedimentação mais alta para a temperatura ambiente, reduzindo a contração do diamante em comparação com o substrato. Isso gera uma grande tensão térmica interna. Quando o coeficiente de expansão térmica do filme é menor que o coeficiente de expansão térmica do substrato, o torque é positivo e o filme não apresenta estratificação.

–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua