फिल्मच्या वाढीवर परिणाम होणे अत्यंत महत्त्वाचे आहे. जर सब्सट्रेटचा पृष्ठभाग खडबडीत असेल आणि त्यात पृष्ठभागावरील दोष वाढत असतील, तर त्याचा परिणाम फिल्मच्या चिकटण्यावर आणि वाढीच्या दरावर होतो. म्हणून, व्हॅक्यूम कोटिंग सुरू होण्यापूर्वी, सब्सट्रेटवर पूर्व-प्रक्रिया केली जाते, जी सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील खडबडीतपणा कमी करण्याचे काम करते. अल्ट्रासोनिक प्रक्रियेनंतर, सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर लहान ओरखडे तयार होतात, ज्यामुळे पातळ फिल्मच्या कणांचा आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागाचा संपर्क क्षेत्र वाढतो, ज्यामुळे रोटरची सुसंगतता आणि मेम्ब्रेन बेसचे संयोजन लक्षणीयरीत्या वाढू शकते.
बहुतेक सबस्ट्रेट मटेरियलच्या बाबतीत, सबस्ट्रेटचा खडबडीतपणा कमी झाल्यावर फिल्मचे आसंजन वाढते, म्हणजेच, मेंब्रेन बेसची बंधन शक्ती अधिक मजबूत होते; तसेच काही सबस्ट्रेट मटेरियल विशेष प्रकरणे आहेत, जसे की सिरॅमिक बेसवरील फिल्मचे आसंजन कमी होते, म्हणजेच, मेंब्रेन बेसची बंधन शक्ती कमकुवत होते.
फिल्म आणि मॅट्रिक्स यांच्यातील परस्परसंबंधांवर परिणाम करणाऱ्या घटकांमध्ये, औष्णिक स्थूलता गुणांक निर्णायक भूमिका बजावतो. जेव्हा फिल्मचा औष्णिक प्रसरण गुणांक मॅट्रिक्सच्या औष्णिक प्रसरण गुणांकापेक्षा जास्त असतो, तेव्हा टॉर्क नकारात्मक असतो आणि कमाल ताण मुक्त सीमेवर असतो. केंद्राच्या जवळ दाब निर्माण होतो आणि फिल्म स्तरित दिसू शकते. अवसादी स्किनस पातळ फिल्मचे उदाहरण घेऊया. हिऱ्याचा औष्णिक प्रसरण गुणांक कमी असल्यामुळे, जेव्हा वायू अवस्थेतील निक्षेपण पूर्ण होते, तेव्हा सब्सट्रेटचे तापमान उच्च अवसादी तापमानावरून खोलीच्या तापमानापर्यंत कमी केले जाते आणि सब्सट्रेटच्या तुलनेत हिऱ्याचे आकुंचन कमी होते. त्यामुळे आतमध्ये मोठा औष्णिक ताण निर्माण होतो. जेव्हा फिल्मचा औष्णिक प्रसरण गुणांक सब्सट्रेटच्या औष्णिक स्थूलता गुणांकापेक्षा कमी असतो, तेव्हा टॉर्क सकारात्मक असतो आणि फिल्म सहजपणे स्तरित होत नाही.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: २९ फेब्रुवारी २०२४