Magnetron püskürtmesi, esasan, boşaltma plazma daşamagyny, nyşana aşındyrmany, inçe plýonka çökündisini we beýleki prosesleri öz içine alýar, magnitron püskürtme prosesindäki magnit meýdany täsir eder. Magnetron püskürtme ulgamynda we ortogonal magnit meýdanynda elektronlar Lorens güýjüniň roluna sezewar bolýar we spiral traektoriýa hereketini edýär, anoda ýuwaş-ýuwaşdan geçmek üçin yzygiderli çaknyşmaga sezewar bolmaly, çaknyşma sebäpli elektronlaryň bir bölegi anoda ýetýär, energiýa az bolýar, substrata bombardman etmek ýylylygy hem uly däl. Mundan başga-da, elektron nyşana magnit meýdanynyň çäklendirmeleri sebäpli, boşaltma zolagynyň içinde ýerleşýän sebitiň magnit täsiriniň nyşana ýüzünde bu ýerli kiçi elektron konsentrasiýasy gaty ýokary we substrat ýüzüniň daşyndaky sebitiň magnit täsirinde, esasanam ýüze golaý magnit meýdanyndan daşda, elektron konsentrasiýasy dispersiýa sebäpli has pes we deňeşdirme boýunça deň paýlanyş, hatda dipol püskürtme şertlerinden hem pes (iki işçi gaz basyşynyň tapawudy sebäpli). Substratyň ýüzüne bombardman edýän elektronlaryň dykyzlygy pes, şonuň üçin substratyň pes temperatura ýokarlanmagy sebäpli bombardman edilmegi pes, bu bolsa magnetron püskürmesiniň substratyň temperatura ýokarlanmagynyň esasy mehanizmidir. Mundan başga-da, diňe elektrik meýdany bar bolsa, elektronlar gaty gysga aralykdan soň anoda ýetýärler we işçi gaz bilen çaknyşmagyň ähtimallygy diňe 63,8% -e deňdir. Magnit meýdanyny goşsak, elektronlar spiral hereket etmek üçin anodda hereket edýär, magnit meýdany baglanýar we elektronlaryň traýektoriýasyny uzaldýar, elektronlaryň we işçi gazlaryň çaknyşmagynyň ähtimallygyny ep-esli ýokarlandyrýar, bu bolsa ionlaşmanyň ýüze çykmagyna uly goşant goşýar, ionlaşma we soňra ýene-de elektronlary öndürýär, çaknyşmagyň ähtimallygy birnäçe esse ýokarlandyrylyp, elektronlaryň energiýasyny netijeli ulanyp bolýar we şeýlelik bilen ýokary dykyzlygyň emele gelmeginde plazma dykyzlygy plazmanyň anomal ýalpyldawuk boşalmasynda artýar. Nyşanadan atomlaryň püskürme tizligi hem ýokarlanýar we nyşana oňyn ionlar bilen bombardman edilmegi netijesinde nyşana püskürme has netijeli bolýar, bu bolsa magnetron püskürme çökündisiniň ýokary tizliginiň sebäbidir. Mundan başga-da, magnit meýdanynyň bolmagy püskürme ulgamynyň pes howa basyşynda, pes howa basyşynda işlemegine, çaknyşmany azaltmak üçin örtük gatlagy sebitinde ionlaryň döremegine, nyşana deňeşdirme boýunça uly kinetik energiýa bilen bombardman edilmegine we püsküren nyşana atomlarynyň we neýtral gazyň çaknyşmagyny azaltmaga, nyşana atomlarynyň enjamyň diwaryna sepilmegine ýa-da nyşana ýüzüne gaýdyp gelmeginiň öňüni almaga, inçe plýonka çökündisiniň tizligini we hilini ýokarlandyrmaga mümkinçilik berýär.
Nyşana magnit meýdany elektronlaryň traýektoriýasyny netijeli çäklendirip biler, bu bolsa öz gezeginde plazmanyň häsiýetlerine we nyşanadaky ionlaryň aşynmagyna täsir edýär.
Yzarlamak: nyşana magnit meýdanynyň deňligini ýokarlandyrmak nyşana ýüzüniň aşındyrylmagynyň deňligini ýokarlandyryp biler, şeýlelik bilen nyşana materialynyň ulanylyşyny gowulandyrýar; elektromagnit meýdanynyň dogry paýlanyşy hem püskürtme prosesiniň durnuklylygyny netijeli ýokarlandyryp biler. Şonuň üçin magnetron püskürtme nyşany üçin magnit meýdanynyň ululygy we paýlanyşy örän möhümdir.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 14-nji dekabry